硅烷
中文名称:硅烷
英文名称:Silicon tetrahydride
CAS号:7803-62-5
分子式:H4Si
分子量:32.12
EINECS号:232-263-4
Mol文件:7803-62-5.mol
硅烷 性质
| 熔点 | -185 °C |
|---|---|
| 沸点 | -112 °C |
| 密度 | 1.114 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气密度 | 1.1 (vs air) |
| 蒸气压 | 100kPa at 20℃ |
| 溶解度 | 与H2O反应；不溶于乙醇、苯 |
| 形态 | 无色气体 |
| 比重 | 0.680 |
| 颜色 | 无色气体；易燃 |
| 气味 (Odor) | 令人厌恶的气味 |
| 水溶解性 | decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93] |
| 水解敏感性 | 10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required |
| Merck | 13,8562 |
| 暴露限值 | TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH). |
| EPA化学物质信息 | Silane (7803-62-5) |
硅烷 用途与合成方法
硅烷是指的是碳烷烃的硅取代类似物。构成硅烷烃的是一条硅原子链接形成的主链和以共价键链接在主链上的氢原子。硅烷是具有特殊气味的无色气体，比空气重。
四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年，由于我国集成电路产业发展迅速，超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间，这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时，由于太阳能市场的繁荣仍将持续，据预测，从2010年至2020年，全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体，是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国，每年消耗的多晶硅将近4000吨左右，每年消耗的四氢化硅约为200～300吨，有较大的接触人群。用途
用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 用途
用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 类别
有害气体 毒性分级
中毒 急性毒性
吸入-大鼠 LC50: 9600 PPM/4小时; 吸入-小鼠 LCL0: 9600 PPM/4小时 爆炸物危险特性
与空气混合易爆 可燃性危险特性
易燃; 遇热分解有毒硅和易燃氢气; 与液体接触防止烫伤 储运特性
库房通风低温干燥; 与氧化剂、卤素分开存放 灭火剂
雾状水、泡沫、二氧化碳 职业标准
TLV-TWA 7 毫克/立方米 安全信息
| 危险品标志 | F+,Xn |
|---|---|
| 危险类别码 | 12-17-20 |
| 安全说明 | 9-16-33-36/37/39 |
| 危险品运输编号 | UN 2203 2.1 |
| 职业暴露等级 | B |
| 职业暴露限值 | TWA: 5 ppm (7 mg/m3) |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS号 | VV1400000 |
| TSCA | Yes |
| DOT Classification | 2.1 (Flammable gas) |
| 危险等级 | 2.1 |
| 毒害物质数据 | 7803-62-5(Hazardous Substances Data) |
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英文名称：Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
纯度：99.9999%
包装信息：12kg;125kg;4500kg
备注：硅烷;甲基硅烷;高纯硅烷;SiH4
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中文名称：硅烷;甲基硅烷;高纯硅烷;SiH4;半导体用电子级硅烷
英文名称：Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
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中文名称：高纯硅烷
英文名称：silane
CAS：7803-62-5
纯度：99.9999%
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英文名称：SILANE, 7.0 - 7.5% in argon
CAS：7803-62-5
纯度：15-17% in nitrogen
包装信息：100g
备注：SIS6950.1
