硅烷

理化性质应用

硅烷

CAS号:7803-62-5
英文名:Silicon tetrahydride
中文名:硅烷
CBNumber:CB4854366
分子式:H4Si
分子量:32.12
MOL File:7803-62-5.mol

硅烷化学性质

熔点 :-185 °C
沸点 :-112 °C
密度 :1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸气密度 :1.1 (vs air)
蒸气压 :100kPa at 20℃
溶解度 :reacts with H2O; insoluble in ethanol,benzene
形态 :colorless gas
比重 :0.680
颜色 :colorless gas; flammable
气味 (Odor) :repulsive odor
水溶解性 :decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
水解敏感性 :10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
Merck :13,8562
暴露限值 :TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m³) (ACGIH).
EPA化学物质信息 :Silane (7803-62-5)

安全信息

危险品标志 :F+,Xn
危险类别码 :12-17-20
安全说明 :9-16-33-36/37/39
危险品运输编号 :UN 2203 2.1
职业暴露等级 :B
职业暴露限值 :TWA: 5 ppm (7 mg/m3)
WGK Germany :1
RTECS号 :VV1400000
TSCA :Yes
DOT Classification :2.1 (Flammable gas)
危险等级 :2.1
毒害物质数据 :7803-62-5(Hazardous Substances Data)

硅烷 MSDS

甲硅烷

硅烷性质、用途与生产工艺

理化性质
硅烷是指的是碳烷烃的硅取代类似物。构成硅烷烃的是一条硅原子链接形成的主链和以共价键链接在主链上的氢原子。硅烷是具有特殊气味的无色气体，比空气重。
应用四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年，由于我国集成电路产业发展迅速，超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间，这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时，由于太阳能市场的繁荣仍将持续，据预测，从2010年至2020年，全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体，是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国，每年消耗的多晶硅将近4000吨左右，每年消耗的四氢化硅约为200～300吨，有较大的接触人群。
用途用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等
用途用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等
类别有害气体
毒性分级中毒
急性毒性吸入-大鼠 LC50: 9600 PPM/4小时; 吸入-小鼠 LCL0: 9600 PPM/4小时
爆炸物危险特性与空气混合易爆
可燃性危险特性易燃; 遇热分解有毒硅和易燃氢气; 与液体接触防止烫伤
储运特性库房通风低温干燥; 与氧化剂、卤素分开存放
灭火剂雾状水、泡沫、二氧化碳
职业标准 TLV-TWA 7 毫克/立方米