(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴的应用与合成

介绍

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴的化学式为C₁₂H₁₀Co₂O₆，外观为淡黄色晶体。

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴

应用

(3,3‑二甲基‑1‑丁炔)六羰基二钴作为CVD/ALD的重要前体，含钴前体通过沉积形成的钴材料，已被用于集成电路制造中的钝化层、绝缘层等功能层，并有很大潜力用作芯片中的布线及互连件。

合成

现有合成的缺点

公开号为CN110818745A的中国发明专利提供了一种(3,3‑二甲基‑1‑丁炔)六羰基二钴的制备方法；在氮气气氛保护下，在反应器中加入有羰基钴试剂和1500‑2000份的烃类溶剂，然后控温0‑30℃，然后缓慢的向体系中加入0.1‑0.5份的离子液改性的氧化石墨烯材料和20‑30份的入叔丁基乙炔，加完之后氮气气氛保护下搅拌反应1‑10h；反应结束后进行过滤，得到的滤液进行蒸馏除掉易挥发组分，得到(3 ,3‑二甲基‑1‑丁炔)六羰基二钴粗产品，然后经过提纯得到产品。其制备方法虽然操作性强，反应副产物少，具备较高的产率。但是上述方法步骤较多，操作复杂，整个流程时间较长，反应物料多，不利于纯化。且溶剂比例过大，对于固定容积的反应釜，一次合成所得实际产物较少。同时还具有高成本，低效益的缺点。

新合成方法

在氮气氛围下，向反应釜内先后加入0.1mol的八羰基二钴和2mol(约250ml左右)的正己烷溶剂，搅拌速率为900r/s，搅拌3min，待八羰基二钴全部溶解。将反应釜温度保持在15℃，开启搅拌，然后向反应釜内以3滴/秒速率滴加0.12mol刚蒸馏过得3,3‑二甲基‑1‑丁炔，滴加完成后，保持搅拌反应2H。反应结束后，在常压下，将反应釜加热至75℃进行蒸馏，待没有液体蒸出后，结束，得到(3,3‑二甲基‑1‑丁炔)六羰基二钴。收率为85%[1]。

参考文献

[1]范光华,杨敏,蒋寅斌,等.(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴的合成方法[P].江苏省:CN202210551099.9,2023-11-28.