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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴新闻专题

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴的应用与合成
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴可以由八羰基二钴和3,3-二甲基-1-丁炔合成得到,它可以作为CVD/ALD的重要前体,通过沉积形成的钴材料。
2025-02-20

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴的制备
(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴(CCTBA)是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一。它是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体,特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用,具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下,钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。
2020-04-16
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