7803-62-5
中文名称
硅烷
英文名称
Silicon tetrahydride
CAS
7803-62-5
分子式
H4Si
分子量
32.12
MOL 文件
7803-62-5.mol
更新日期
2026/09/23 08:33:14
结构式
基本信息
中文别名
甲硅烷
四氢化硅
硅烷
甲矽烷
RB-602硅烷偶联剂
RB-902硅烷偶联剂
四氢化硅
硅烷
甲矽烷
RB-602硅烷偶联剂
RB-902硅烷偶联剂
英文别名
SILANE
SILICON TETRAHYDRIDE
flots100sco
Monosilane
SiH4
Silicane
Silicon hydride
Silicon hydride (SiH4)
tetrahydrure
tetrahydruredesilicium
Silaneinnitrogen
SILANE, 99.998+%, ELECTRONIC GRADE
Silicon tetyahydride
SilaneGAS(Silicontetrahydride)
SILANE: 15-17% IN NITROGEN
15-17% IN NITROGEN
methylsilicane
Silicon tetrahydride (Silane)
Silane coupler RB-602
Silane coupler RB-902
SILICON TETRAHYDRIDE
flots100sco
Monosilane
SiH4
Silicane
Silicon hydride
Silicon hydride (SiH4)
tetrahydrure
tetrahydruredesilicium
Silaneinnitrogen
SILANE, 99.998+%, ELECTRONIC GRADE
Silicon tetyahydride
SilaneGAS(Silicontetrahydride)
SILANE: 15-17% IN NITROGEN
15-17% IN NITROGEN
methylsilicane
Silicon tetrahydride (Silane)
Silane coupler RB-602
Silane coupler RB-902
所属类别
有机原料：有机硅化合物
物理化学性质
| 外观性质 | 无色气体，有恶臭。 |
| 溶解性 | 溶于苯、四氯化碳。 |
| 熔点 | -185 °C |
| 沸点 | -112 °C |
| 密度 | 1.114 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气密度 | 1.1 (vs air) |
| 蒸气压 | 100kPa at 20℃ |
| 溶解度 | reacts with H2O; insoluble in ethanol,benzene |
| 形态 | 无色气体 |
| 比重 | 0.680 |
| 颜色 | colorless gas; flammable |
| 气味 (Odor) | repulsive odor |
| 水溶解性 | decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93] |
| 比热容 | Cp(gas):1.3325J/(g·K),at 25℃ |
| 水解敏感性 | 10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required |
| 用途 | 用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 |
| 用途 | 用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等 |
| Merck | 13,8562 |
| 暴露限值 | TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH). |
| EPA化学物质信息 | Silane (7803-62-5) |
安全数据
| 危险性符号(GHS) |   GHS02,GHS04 |
| 警示词 | 危险 |
| 危险性描述 | H220-H280 |
| 防范说明 | P410+P403-P210-P377-P381-P403 |
| 危险品标志 | F+,Xn |
| 危险类别码 | 12-17-20 |
| 安全说明 | 9-16-33-36/37/39 |
| 危险品运输编号 | UN 2203 2.1 |
| 职业暴露等级 | B |
| 职业暴露限值 | TWA: 5 ppm (7 mg/m3) |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS号 | VV1400000 |
| TSCA | Yes |
| REACH 注册登记 | Active |
| DOT Classification | 2.1 (Flammable gas) |
| 危险等级 | 2.1 |
| 毒害物质数据 | 7803-62-5(Hazardous Substances Data) |
常见问题列表
理化性质
硅烷是指的是碳烷烃的硅取代类似物。构成硅烷烃的是一条硅原子链接形成的主链和以共价键链接在主链上的氢原子。硅烷是具有特殊气味的无色气体，比空气重。
应用
四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年，由于我国集成电路产业发展迅速，超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间，这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时，由于太阳能市场的繁荣仍将持续，据预测，从2010年至2020年，全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体，是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国，每年消耗的多晶硅将近4000吨左右，每年消耗的四氢化硅约为200～300吨，有较大的接触人群。
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英文名称：Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
纯度：99.9999%
包装信息：12kg;125kg;4500kg
备注：硅烷;甲基硅烷;高纯硅烷;SiH4
库存量：
>10000kg
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中文名称：高纯硅烷
英文名称：silane
CAS：7803-62-5
纯度：99.9999%
包装信息：44L/
备注：可定制
库存量：
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英文名称：SILANE, 7.0 - 7.5% in argon
CAS：7803-62-5
纯度：15-17% in nitrogen
包装信息：100g
备注：SIS6950.1
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中文名称：硅烷
CAS：7803-62-5
纯度：99%
包装信息：100g;500g;1kg;5kg
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中文名称：硅烷
英文名称：silane
CAS：7803-62-5
纯度：99.9999%
包装信息：47L/DISS632/10kg
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中文名称：硅烷;甲基硅烷;高纯硅烷;SiH4;半导体用电子级硅烷
英文名称：Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
纯度：>=99.9999%
包装信息：12kg
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中文名称：硅烷;甲基硅烷;高纯硅烷;SiH4;半导体用电子级硅烷
英文名称：Silane
CAS：7803-62-5
纯度：98.00%
包装信息：100G;500G;1KG
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中文名称：硅烷
英文名称：Silane
CAS：7803-62-5
纯度：99% HPLC
包装信息：5KG;1KG
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中文名称：甲硅烷
英文名称：The silane
纯度：98%
包装信息：8L;10L;40L
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中文名称：硅烷
英文名称：Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
纯度：AR
包装信息：12kg
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中文名称：硅烷
英文名称： Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
纯度：AR
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中文名称：硅烷;甲矽烷;甲硅烷;四氢化硅;高纯硅烷;甲硅烷,硅烷;硅烷,四氢化硅;RB-902硅烷偶联剂;RB-602硅烷偶联剂
英文名称：SiH4;SILANE;Silicane;Monosilane;The silane;flots100sco;tetrahydrure;Silicomethane;methylsilicane;Silicon hydride
CAS：7803-62-5
纯度：99%
包装信息：根据需求提供包装
备注：丰度99%
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中文名称：硅烷;甲基硅烷;高纯硅烷;SiH4;半导体用电子级硅烷
英文名称：Silicon tetrahydride
CAS：7803-62-5
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中文名称：硅烷
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中文名称：甲硅烷
CAS：7803-62-5
纯度：99%
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