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二氯硅烷

二氯硅烷

中文名称:二氯硅烷
英文名称:Dichlorosilane
CAS号:4109-96-0
分子式:Cl2H2Si
分子量:101.01
EINECS号:223-888-3
Mol文件:4109-96-0.mol
二氯硅烷 结构式

二氯硅烷 性质

熔点 −122 °C(lit.)
沸点 8.3 °C(lit.)
密度 1,22 g/cm3
蒸气密度 3.5 (vs air)
蒸气压 1254 mm Hg ( 20 °C)
闪点 -37°C
溶解度 与H2O反应
形态 无色气体
颜色 无色气体;易燃
比重 0.76
爆炸极限值(explosive limit) 99%
水溶解性 decomposes
水解敏感性 9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required
稳定性 稳定的。极易燃;注意非常宽的爆炸极限。与水、醇类、强氧化剂、碱类会急剧地发生反应。
CAS 数据库 4109-96-0(CAS DataBase Reference)
EPA化学物质信息 Dichlorosilane (4109-96-0)

二氯硅烷 用途与合成方法

吸入人体会水解生成盐酸、刺激呼吸系统,引起咳嗽,肺部水肿。吸人二氯二氢硅气体时间较长会引起窒息而死。溅在皮肤上可引起坏死,溃疡长期不愈。
生产人员要穿着密闭型工作服,戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品,防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭,车间要通风良好。下班后要洗淋浴。
化学性质 
无色。易燃。有毒腐蚀性气体,具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599;液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃,绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃,1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3%~98%。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解,生成盐酸雾。有强腐蚀性。
用途 
用于半导体制造中,尤其是外延法工艺作为硅源。
用途 
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
生产方法 
将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应,生成二氯二氢硅,经蒸馏分离三氯氢硅,把得到的二氯二氢硅进行精制,制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其
Si+2HCl→SiH2C12

安全信息

危险品标志F+,T
危险类别码12-14-23-34
安全说明26-36/37/39-45
危险品运输编号UN 2189 2.3
WGK Germany1
RTECS号VV3050000
F4.5
TSCAYes
DOT Classification2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation)
危险等级2.3
毒性mouse,LC50,inhalation,144ppm/4H (144ppm),Archives of Toxicology. Vol. 70, Pg. 218, 1996.

MSDS信息

语言:Chinese
提供商:二氯硅烷
语言:English
提供商:SigmaAldrich

二氯硅烷 上下游产品信息

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二氯硅烷供应商 更多

上海迈瑞尔生化科技有限公司
联系电话:021-61259108 18621169109
产品介绍:
英文名称:DICHLOROSILANE
CAS:4109-96-0
纯度:99.5%
包装信息:250g;2kg
备注:SID3368.0
安耐吉化学&3A(安徽泽升科技有限公司)
联系电话:021-021-58432009 400-005-6266
产品介绍:
中文名称:二氯硅烷
英文名称:Dichlorosilane
CAS:4109-96-0
纯度:>=99.99% trace Metals basis
包装信息:227G
备注:国产化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
T&W GROUP
联系电话:021-61551611 13296011611
产品介绍:
英文名称:Dichlorosilane
CAS:4109-96-0
纯度:98%
包装信息:按需包装
上海众巍化学有限公司
联系电话: 18824865657
产品介绍:
中文名称:二氯硅烷
英文名称:dichlorosilane
CAS:4109-96-0
纯度:99.99%
包装信息:40L/DISS636/40kg
苏州矽索新材料有限公司(生产型企业)
联系电话:0512-65402974 18550909935;
产品介绍:
中文名称:二氯硅烷
英文名称:DICHLOROSILANE
CAS:4109-96-0
纯度:97%
包装信息:100kg

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二氯硅烷
陕西西化化学工业有限公司 2024-11-18
二氯二氢硅
上海众巍化学有限公司 2024-11-14

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