4109-96-0
中文名称
二氯硅烷
英文名称
Dichlorosilane
CAS
4109-96-0
EINECS 编号
223-888-3
分子式
Cl2H2Si
MDL 编号
MFCD00011600
分子量
101.01
MOL 文件
4109-96-0.mol
更新日期
2026/09/08 14:50:56
结构式
基本信息
中文别名
二氯硅烷
三氯矽烷
电子级高纯二氯二氨硅
三氯矽烷
电子级高纯二氯二氨硅
英文别名
DICHLOROSILANE
DICHLOROSILANE 99
dichloro-silan
dichlorsilane
siliconchloridehydride
DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE
DICHLOROSILANE, 99.99+%
DICHLOROSILANE 97+%
Silane,dichloro-
DICHLOROSILANE: 99.5%
DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE
dichlorosilane for high purity，electronic grade
DICHLOROSILANE 99
dichloro-silan
dichlorsilane
siliconchloridehydride
DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE
DICHLOROSILANE, 99.99+%
DICHLOROSILANE 97+%
Silane,dichloro-
DICHLOROSILANE: 99.5%
DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE
dichlorosilane for high purity，electronic grade
所属类别
无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产品
物理化学性质
| 外观性质 | 无色气体。 |
| 外观性状 | 无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。 |
| 溶解性 | 溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。 |
| 熔点 | −122 °C(lit.) |
| 沸点 | 8.3 °C(lit.) |
| 密度 | 1,22 g/cm3 |
| 蒸气密度 | 3.5 (vs air) |
| 蒸气压 | 1254 mm Hg ( 20 °C) |
| 闪点 | -37°C |
| 溶解度 | reacts with H2O |
| 形态 | 无色气体 |
| 比重 | 0.76 |
| 比重 | 0.94 |
| 比重 | 1.22 |
| 颜色 | colorless gas; flammable |
| 爆炸极限值(explosive limit) | 99% |
| 水溶解性 | decomposes |
| 比热容 | Cp(gas):0.598951J/(g·K),at 25℃ |
| 水解敏感性 | 9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required |
| 稳定性 | 稳定的。极易燃；注意非常宽的爆炸极限。与水、醇类、强氧化剂、碱类会急剧地发生反应。 |
| CAS 数据库 | 4109-96-0(CAS DataBase Reference) |
| EPA化学物质信息 | Dichlorosilane (4109-96-0) |
安全数据
| 危险性符号(GHS) |    GHS02,GHS05,GHS06 |
| 警示词 | 危险 |
| 危险性描述 | H220-H280-H314-H331 |
| 防范说明 | P210-P261-P280-P305+P351+P338-P310-P410+P403 |
| 危险品标志 | F+,T |
| 危险类别码 | R12-R14-R23-R34 |
| 安全说明 | S26-S36/37/39-S45 |
| 危险品运输编号 | UN 2189 2.3 |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS号 | VV3050000 |
| F | 4.5 |
| TSCA | Yes |
| REACH 注册登记 | Active |
| DOT Classification | 2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation) |
| 危险等级 | 2.3 |
应用领域
用途一
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
用途二
用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。
参考质量标准
参考标准▼
▲
指标名称
指标
电子级
硼(B)/(mg/kg)
＜0.3
磷(P)/(mg/kg)＜
0.3
四氯化硅(SiCl4)/%＜
0.1
三氯氢硅(SiHC13)/%＜
0.2
制备方法
方法一
将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12
常见问题列表
简介
二氯硅烷别称二氯二氢硅，在常温常压下为无色、易燃、有毒气体，有特殊气味，可溶于苯、乙醚等有机溶剂。与空气接触，其可能发生自燃。加热时和燃烧时，分解，生成含有氯化氢的有毒烟雾。
化学反应
二氯硅烷具有较强的反应活性，可以与多种化合物发生取代、加成等反应，从而合成出各种硅基化合物。
应用
二氯硅烷主要用于芯片制造过程中的薄膜沉积（如外延膜、碳化硅膜、氮化硅膜、氧化硅膜和多晶硅膜等），用于生产逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片和其他类芯片，也可用于合成硅基系列前驱体和聚硅氮烷等。
毒性
吸入人体会水解生成盐酸、刺激呼吸系统，引起咳嗽，肺部水肿。吸人二氯二氢硅气体时间较长会引起窒息而死。溅在皮肤上可引起坏死，溃疡长期不愈。生产人员要穿着密闭型工作服，戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭，车间要通风良好。下班后要洗淋浴。
知名试剂公司产品信息
4109-96-0(sigmaaldrich)
Sigma Aldrich
供应商信息 更多
上海迈瑞尔生化科技有限公司
联系电话：
4006356688 18621169109
产品介绍：
英文名称：DICHLOROSILANE
CAS：4109-96-0
纯度：99.5%
包装信息：250g;2kg
备注：SID3368.0
安耐吉化学&3A（安徽泽升科技股份有限公司）
联系电话：
400-0056266
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：>=99.99% trace Metals basis
包装信息：227G
备注：国产化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
T&W GROUP
联系电话：
021-61551611 13296011611
产品介绍：
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：98%
包装信息：按需包装
上海众巍化学有限公司
联系电话：
18824865657
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99.99%
包装信息：40L/DISS636/40kg
苏州矽索新材料有限公司（生产型企业）
联系电话：
0512-65402974 18550909935
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：DICHLOROSILANE
CAS：4109-96-0
纯度：97%
包装信息：100kg
湖南秉航新材料有限公司
联系电话：
0731-85567275 19313119732
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：95%+
包装信息：100g;500g;1kg
湖南省华中特种气体有限公司
联系电话：
0734-8755555 15674722888
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99%
包装信息：1kg;5kg;10kg
安徽旺山旺水特种气体有限公司
联系电话：
15906197626
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorodihydrosilicon
CAS：4109-96-0
纯度：99%--99.9999%
包装信息：2L;4L;8L;10L;40L;44L;50L
上海宝杨宝欣生物科技有限公司
联系电话：
021-56698539 19921169802
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
CAS：4109-96-0
纯度：99%
包装信息：200KG/桶
备注：仅售工业级大货，无试剂产品！
天津荣燊化工有限公司
联系电话：
18317763565; 18317763565
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：90%，95%，98%
包装信息：100g;500g;1kg
陕西缔都化学有限公司
联系电话：
17691182729 17392216275
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：98%
包装信息：25KG
备注：负责人：韩经理 QQ:3933494540 手机：17392212881（微信同号）
上海珅桔化工有限公司
联系电话：
13167128868 13661427209
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorosilane (DCS)
CAS：4109-96-0
纯度：99%
包装信息：1T
广东翁江化学试剂有限公司
联系电话：
0751-2815983 13927872582
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称： Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99.9%
包装信息：25kg
上海嘉斯保气体有限公司
联系电话：
13218776790 13218776790
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorodihydrosilicon
CAS：4109-96-0
纯度：99%--99.9999%
包装信息：2L;4L;8L;10L;40L;44L;50L
备注：可定制
尚澜气体（上海）有限公司
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4001882517 13194677939
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorodihydrosilicon
CAS：4109-96-0
纯度：99%--99.9999%
包装信息：2L;4L;8L;10L;40L;44L;50L
南通合润生物科技有限公司
联系电话：
18362409333
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99%
包装信息：1g;100g;1kg;1t
备注：质量保证，规格齐全
济南市万理气体有限公司
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13245484555
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：5N
包装信息：40L/;40L/;40L/
备注：40L多种规格按需分装 电询：13245484555 回收处理各种 剩余过期特气
上海瀚扬化工产品有限公司
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18063541133 18063541133
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorosilane (DCS)
CAS：4109-96-0
纯度：99% HPLC
包装信息：1KG,25KG,200KG
备注：按需分装