4109-96-0
中文名称
二氯硅烷
英文名称
Dichlorosilane
CAS
4109-96-0
EINECS 编号
223-888-3
分子式
Cl2H2Si
MDL 编号
MFCD00011600
分子量
101.01
MOL 文件
4109-96-0.mol
结构式
基本信息
中文别名
二氯硅烷
三氯矽烷
电子级高纯二氯二氨硅
三氯矽烷
电子级高纯二氯二氨硅
英文别名
DICHLOROSILANE
DICHLOROSILANE 99
dichloro-silan
dichlorsilane
siliconchloridehydride
DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE
DICHLOROSILANE, 99.99+%
DICHLOROSILANE 97+%
Silane,dichloro-
DICHLOROSILANE: 99.5%
DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE
dichlorosilane for high purity，electronic grade
DICHLOROSILANE 99
dichloro-silan
dichlorsilane
siliconchloridehydride
DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE
DICHLOROSILANE, 99.99+%
DICHLOROSILANE 97+%
Silane,dichloro-
DICHLOROSILANE: 99.5%
DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE
dichlorosilane for high purity，electronic grade
所属类别
无机化工产品: 无机盐: Cv电子工业用无机化工产品
物理化学性质
| 外观性质 | 无色气体。 |
| 外观性状 | 无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。 |
| 溶解性 | 溶于苯、乙醚等多数有机溶剂。 |
| 熔点 | −122 °C(lit.) |
| 沸点 | 8.3 °C(lit.) |
| 密度 | 1,22 g/cm3 |
| 蒸气密度 | 3.5 (vs air) |
| 蒸气压 | 1254 mm Hg ( 20 °C) |
| 闪点 | -37°C |
| 溶解度 | reacts with H2O |
| 形态 | 无色气体 |
| 比重 | 0.76 |
| 比重 | 0.94 |
| 比重 | 1.22 |
| 颜色 | colorless gas; flammable |
| 爆炸极限值(explosive limit) | 99% |
| 水溶解性 | decomposes |
| 水解敏感性 | 9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required |
| 稳定性 | 稳定的。极易燃；注意非常宽的爆炸极限。与水、醇类、强氧化剂、碱类会急剧地发生反应。 |
| CAS 数据库 | 4109-96-0(CAS DataBase Reference) |
| EPA化学物质信息 | Dichlorosilane (4109-96-0) |
安全数据
| 危险性符号(GHS) |    GHS02,GHS05,GHS06 |
| 警示词 | 危险 |
| 危险性描述 | H220-H280-H314-H331 |
| 防范说明 | P210-P261-P280-P305+P351+P338-P310-P410+P403 |
| 危险品标志 | F+,T |
| 危险类别码 | R12-R14-R23-R34 |
| 安全说明 | S26-S36/37/39-S45 |
| 危险品运输编号 | UN 2189 2.3 |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS号 | VV3050000 |
| F | 4.5 |
| TSCA | Yes |
| DOT Classification | 2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation) |
| 危险等级 | 2.3 |
应用领域
用途一
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
用途二
用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。
参考质量标准
参考标准▼
▲
指标名称
指标
电子级
硼(B)/(mg/kg)
＜0.3
磷(P)/(mg/kg)＜
0.3
四氯化硅(SiCl4)/%＜
0.1
三氯氢硅(SiHC13)/%＜
0.2
制备方法
方法一
将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12
常见问题列表
毒性
吸入人体会水解生成盐酸、刺激呼吸系统，引起咳嗽，肺部水肿。吸人二氯二氢硅气体时间较长会引起窒息而死。溅在皮肤上可引起坏死，溃疡长期不愈。生产人员要穿着密闭型工作服，戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭，车间要通风良好。下班后要洗淋浴。
知名试剂公司产品信息
4109-96-0(sigmaaldrich)
Sigma Aldrich
供应商信息 更多
上海迈瑞尔生化科技有限公司
联系电话：
4006608290; 18621169109
产品介绍：
英文名称：DICHLOROSILANE
CAS：4109-96-0
纯度：99.5%
包装信息：250g;2kg
备注：SID3368.0
安耐吉化学&3A（安徽泽升科技有限公司）
联系电话：
021-021-58432009 400-005-6266
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：>=99.99% trace Metals basis
包装信息：227G
备注：国产化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
T&W GROUP
联系电话：
021-61551611 13296011611
产品介绍：
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：98%
包装信息：按需包装
上海众巍化学有限公司
联系电话：
18824865657
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99.99%
包装信息：40L/DISS636/40kg
苏州矽索新材料有限公司（生产型企业）
联系电话：
0512-65402974 18550909935
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：DICHLOROSILANE
CAS：4109-96-0
纯度：97%
包装信息：100kg
湖南嘉航医药科技有限公司
联系电话：
0731-85567275 19313119731
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
包装信息：100G;500G;1KG
湖南秉航新材料有限公司
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+86-0731-85567275 13021512891
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：95%+
包装信息：5kg,10kg,100kg,1000kg
同位素 (厦门)工贸有限公司
联系电话：
0510-051082803581 15903302207
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
CAS：4109-96-0
包装信息：8L;40L;47L
备注：工业级、高纯级、超纯级 g\kg
湖南省华中特种气体有限公司
联系电话：
0734-8755555 15674722888
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99%
包装信息：1kg;5kg;10kg
安徽旺山旺水特种气体有限公司
联系电话：
159-0619-7626 13194677939
产品介绍：
中文名称：二氯二氢硅
英文名称：Dichlorodihydrosilicon
CAS：4109-96-0
纯度：99%--99.9999%
包装信息：2L;4L;8L;10L;40L;44L;50L
湖北丽都新材料科技有限公司
联系电话：
0724-4355788 19307246857
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：99% HPLC
包装信息：25kg 200kg
备注：现货,欢迎询单！
湖南嘉航医药科技有限公司
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0731-85567275 13517472705
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
包装信息：100g;500g;1kg
上海嘉化和融生物科技有限公司
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13296077563 13296077563
产品介绍：
中文名称：二氯硅烷
英文名称：Dichlorosilane
CAS：4109-96-0
纯度：98%
包装信息：按需包装