999-97-3
中文名称
六甲基二硅氮烷
英文名称
Hexamethyldisilazane
CAS
999-97-3
EINECS 编号
213-668-5
分子式
C6H19NSi2
MDL 编号
MFCD00008259
分子量
161.39
MOL 文件
999-97-3.mol
更新日期
2024/12/30 13:27:19
结构式
基本信息
中文别名
六甲基二硅氮烷
六甲基二硅烷胺
六甲基二硅亚胺
1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺
六甲基二硅氨烷
六甲基二硅胺
六甲基二硅胺烷
药用硅氮烷
六甲基二硅基胺
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷电子级
六甲基二矽氯烷
六甲二矽烷
六甲基二硅烷胺(HMDS)
六甲基二硅杂氮烷, 98+%
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷, ELECTRONIC GRAD
六甲基二硅杂氮烷, ELECTRONIC GRADE, 99+%
六甲基二硅烷胺
六甲基二硅亚胺
1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺
六甲基二硅氨烷
六甲基二硅胺
六甲基二硅胺烷
药用硅氮烷
六甲基二硅基胺
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷电子级
六甲基二矽氯烷
六甲二矽烷
六甲基二硅烷胺(HMDS)
六甲基二硅杂氮烷, 98+%
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷, ELECTRONIC GRAD
六甲基二硅杂氮烷, ELECTRONIC GRADE, 99+%
英文别名
1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE
1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE
HEXAMETHYLDISILAZANE
hexamethyl disilizane
HEXAMETHYLDISILYLAMINE
HMDS
LABOTEST-BB LT01408762
SILAZANE HMN
((CH3)3Si)2NH
1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazan
1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin
Disilazane, 1,1,1,3,3,3-hexamethyl-
hexamethyldisilazane(hmds)
hexamethylsilazane
sz6079
Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
tsl8802
1,1,1,3,3,3-Hexamithyl disilazane
(dimethyl-trimethylsilylamino-silyl)methane
1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE
HEXAMETHYLDISILAZANE
hexamethyl disilizane
HEXAMETHYLDISILYLAMINE
HMDS
LABOTEST-BB LT01408762
SILAZANE HMN
((CH3)3Si)2NH
1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazan
1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin
Disilazane, 1,1,1,3,3,3-hexamethyl-
hexamethyldisilazane(hmds)
hexamethylsilazane
sz6079
Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
tsl8802
1,1,1,3,3,3-Hexamithyl disilazane
(dimethyl-trimethylsilylamino-silyl)methane
所属类别
有机原料:有机硅化合物
物理化学性质
外观性质 | 无色、透明、易流动液体。 |
外观性状 | 无色透明易流动液体。沸点125℃,相对密度0.76(20/4℃)。溶于有机溶剂,与空气接触会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。闪点-1℃。 |
溶解性 | 溶于多数有机溶剂。 |
熔点 | -78 °C |
沸点 | 125 °C(lit.) |
密度 | 0.774 g/mL at 25 °C(lit.) |
蒸气密度 | 4.6 (vs air) |
蒸气压 | 20 hPa (20 °C) |
折射率 | n |
闪点 | 57.2 °F |
储存条件 | 2-8°C |
溶解度 | 与丙酮、苯、乙醚、庚烷和全氯乙烯混溶。 |
酸度系数(pKa) | 30(at 25℃) |
形态 | 液体 |
比重 | 0.774 |
颜色 | 无色 |
气味 (Odor) | 氨气味 |
酸碱指示剂变色ph值范围 | 8.5 |
爆炸极限值(explosive limit) | 0.8-25.9%(V) |
水溶解性 | REACTS |
敏感性 | 湿气敏感 |
水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
Merck | 14,4689 |
BRN | 635752 |
InChIKey | FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N |
LogP | 0.23-1.19 at 20-25℃ |
CAS 数据库 | 999-97-3(CAS DataBase Reference) |
NIST化学物质信息 | Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-(999-97-3) |
存储注意事项 | 氮气保护;湿度敏感 |
EPA化学物质信息 | Hexamethyldisilazane (999-97-3) |
安全数据
危险性符号(GHS) | GHS02,GHS06 |
警示词 | 危险 |
危险性描述 | H225-H302+H332-H311-H412 |
防范说明 | P210-P273-P280-P301+P312-P303+P361+P353-P304+P340+P312 |
危险品标志 | F,C |
危险类别码 | R11-R20/21/22-R34 |
安全说明 | S16-S26-S36/37/39-S45 |
危险品运输编号 | UN 3286 3/PG 2 |
WGK Germany | 2 |
RTECS号 | JM9230000 |
F | 21 |
自燃温度 | 325 °C |
Hazard Note | Flammable |
TSCA | Yes |
危险等级 | 3 |
包装类别 | II |
海关编码 | 29319090 |
毒害物质数据 | 999-97-3(Hazardous Substances Data) |
毒性 | LDLO i.p. in mice: 650 mg/kg (Petrarch Systems Inc. Product Information Sheets) |
应用领域
用途一
特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
用途二
为阿米卡星药用中间体,是羟基及氨基保护剂
用途三
用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。
用途四
碱性硅烷化保护剂,无机填料处理剂
制备方法
方法一
将109g(1.0mol)三甲基氯硅烷溶于500ml无水乙醚,通入氨气,立即出现白色沉淀。加热至回流,慢慢通氨维持6h,使氯化铵沉降、过滤,取乙醚溶液先蒸出乙醚,再蒸出六甲基二硅氨烷,得52.5g,收率65%。
999-97-3(安全特性,毒性,储运)
储运特性
库房通风低温干燥; 与氧化剂、酸类分开存放
毒性分级
中毒
急性毒性
口服- 大鼠 LD50: 850 毫克/ 公斤; 口服- 小鼠 LDL0: 850 毫克/ 公斤
可燃性危险特性
遇明火、高温、氧化剂易燃; 遇水分解有毒硅化物气体; 燃烧产生有毒氮氧化物烟雾
类别
易燃液体
灭火剂
干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211灭火剂
常见问题列表
有机硅化合物
六甲基二硅氮烷,英文缩写HMDS,一种重要的有机硅化合物,最常用来增加光刻胶在品圆表面附着力的底漆层,易燃且燃点为6.7℃,当在空气中的浓度为0.8%-16%时具有爆炸性,HMDS会强烈地与水、酒精和矿物质酸反应释放出氨水NH3,生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下,与醇或酚反应,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。
光刻胶应用
六甲基二硅氮烷 (HMDS) 底涂通常在应用光刻胶之前使用。1970 年,IBM 的 RH Collins 和 FT Devers 在美国专利 3,549,368 中首次描述了 HMDS 作为光刻胶粘合促进剂的用途。该工艺已从基于将晶圆浸入 HMDS 溶液中的做法逐步发展为基于蒸汽的过程。尽管可以通过旋涂将 HMDS 涂敷在晶圆上,但通常不推荐这样做,因为 HMDS 厚层的蒸汽蒸发会在后期造成问题。最典型的 HMDS 应用在真空室中,该真空室将基板的加热与暴露于 HMDS 蒸气相结合。HMDS提高了光刻胶的附着力
由于从环境湿度中吸收了一层水,硅晶片的表面通常是亲水的。为了光刻胶的适当粘附,需要使表面更疏水以更好地匹配光刻胶的化学性质。该过程的第一步称为脱水烘烤。顾名思义,该步骤的目的是去除晶圆表面的水分。此步骤通常在真空中进行,需要大约 140 至 160 °C 的温度。如果不去除水层,则在后续显影或化学蚀刻过程中存在光刻胶分层的风险。然而,在这一步之后,晶圆表面仍然是亲水的,因为脱水使表面恢复到自然状态。在原生状态下,硅晶片的顶部有一层薄薄的天然氧化物,当暴露在大气湿度下时会形成。在化学上,这被视为硅表面的 OH 基团。为了使光刻胶正确粘附,表面需要更疏水(防水)。
脱水烘烤从晶圆表面去除多余的材料(即吸附的水),而 HMDS 处理将添加单层材料,使其对光刻胶更具吸引力。脱水烘烤后,表面暴露于蒸汽 HMDS,通常在设置为 130 至 160 °C 的热底漆烘箱中。晶圆表面的 OH 基团会与 HMDS 的甲基发生反应,从而使表面更加疏水。表面会更好地与光刻胶的化学成分相匹配,但也不易吸水。
危险性
六甲基二硅氮烷是主危3类副危6.1类/8类的危险货物,具有以下危险性质:易燃液体和蒸气,吞咽有害、皮肤接触会中毒,吸入会中毒。
其蒸气与空气可形成爆炸性混合物,遇明火、高热极易燃烧爆炸,爆炸极限范围0.8%-16.3%。
与氧化剂接触猛烈反应。遇水和甲醇发生化学反应而分解。
图谱信息
六甲基二硅氮烷(999-97-3)质谱(MS)六甲基二硅氮烷(999-97-3)核磁图(1HNMR)六甲基二硅氮烷(999-97-3)核磁图(13CNMR)六甲基二硅氮烷(999-97-3)红外图谱(IR1)六甲基二硅氮烷(999-97-3)Raman光谱知名试剂公司产品信息
六甲基二硅氮烷
1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane, 98%(999-97-3) Acros Organics
1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane, 98%(999-97-3) Acros Organics
999-97-3(sigmaaldrich)
Sigma Aldrich
六甲基二硅氮烷价格(试剂级)
报价日期 | 产品编号 | 产品名称 | CAS号 | 包装 | 价格 |
2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅杂氮烷,电子级, 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 25ml | 419元 |
2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅杂氮烷,电子级, 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 100ml | 990元 |
2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅杂氮烷,电子级, 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 500ml | 3310元 |
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:≥99%
包装信息:1Kg/RMB 150;25Kg150Kg
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:>=99.5%
备注:150kg/桶/
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中文名称:六甲基二硅胺烷
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CAS:999-97-3
纯度:AR,98%
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备注:试剂级
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中文名称:六甲基二硅氮烷
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2024/12/30 9:00:08
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
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2024/12/30 13:27:19
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备注:六甲基二硅氮烷
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:hexamethyldisilazane
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纯度:99%
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CAS:999-97-3
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英文名称:Hexamethyldisilazane
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英文名称:Hexamethyldisilazane
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纯度:>=99%
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>6000kg
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纯度:99.0%
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2024/12/20 18:41:13
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:999-97-3
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纯度:99.0%
包装信息:1KG,5KG,10KG
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99%
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中文名称:六甲基二硅氮烷;六甲基二硅亚胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99% HPLC
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备注:企标
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>1kg
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2024/12/23 9:02:59
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:0.999
包装信息:200L塑桶/衬塑铁桶包装,净重150KG
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中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
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纯度:>=95%
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2024/12/19 11:05:22