基本信息 物理化学性质 安全数据 应用领域 制备方法 上下游产品信息 化学品安全说明书(MSDS) 999-97-3(安全特性,毒性,储运) 常见问题列表 图谱信息 知名试剂公司产品信息 六甲基二硅氮烷价格(试剂级) 供应商 相关产品
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999-97-3

中文名称 六甲基二硅氮烷
英文名称 Hexamethyldisilazane
CAS 999-97-3
EINECS 编号 213-668-5
分子式 C6H19NSi2
MDL 编号 MFCD00008259
分子量 161.39
MOL 文件 999-97-3.mol
更新日期 2024/12/30 13:27:19
结构式 999-97-3 结构式

基本信息

中文别名 六甲基二硅氮烷
六甲基二硅烷胺
六甲基二硅亚胺
1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺
六甲基二硅氨烷
六甲基二硅胺
六甲基二硅胺烷
药用硅氮烷
六甲基二硅基胺
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷电子级
六甲基二矽氯烷
六甲二矽烷
六甲基二硅烷胺(HMDS)
六甲基二硅杂氮烷, 98+%
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷, ELECTRONIC GRAD
六甲基二硅杂氮烷, ELECTRONIC GRADE, 99+%
英文别名 1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE
1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE
HEXAMETHYLDISILAZANE
hexamethyl disilizane
HEXAMETHYLDISILYLAMINE
HMDS
LABOTEST-BB LT01408762
SILAZANE HMN
((CH3)3Si)2NH
1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazan
1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin
Disilazane, 1,1,1,3,3,3-hexamethyl-
hexamethyldisilazane(hmds)
hexamethylsilazane
sz6079
Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
tsl8802
1,1,1,3,3,3-Hexamithyl disilazane
(dimethyl-trimethylsilylamino-silyl)methane
所属类别 有机原料:有机硅化合物

物理化学性质

外观性质 无色、透明、易流动液体。
外观性状 无色透明易流动液体。沸点125℃,相对密度0.76(20/4℃)。溶于有机溶剂,与空气接触会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。闪点-1℃。
溶解性 溶于多数有机溶剂。
熔点 -78 °C
沸点 125 °C(lit.)
密度 0.774 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸气密度 4.6 (vs air)
蒸气压 20 hPa (20 °C)
折射率 n20/D 1.407(lit.)
闪点 57.2 °F
储存条件 2-8°C
溶解度 与丙酮、苯、乙醚、庚烷和全氯乙烯混溶。
酸度系数(pKa) 30(at 25℃)
形态 液体
比重 0.774
颜色 无色
气味 (Odor) 氨气味
酸碱指示剂变色ph值范围 8.5
爆炸极限值(explosive limit) 0.8-25.9%(V)
水溶解性 REACTS
敏感性 湿气敏感
水解敏感性 7: reacts slowly with moisture/water
Merck 14,4689
BRN 635752
InChIKey FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N
LogP 0.23-1.19 at 20-25℃
CAS 数据库 999-97-3(CAS DataBase Reference)
NIST化学物质信息 Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-(999-97-3)
存储注意事项 氮气保护;湿度敏感
EPA化学物质信息 Hexamethyldisilazane (999-97-3)

安全数据

危险性符号(GHS) GHS hazard pictogramsGHS hazard pictograms
GHS02,GHS06
警示词 危险
危险性描述 H225-H302+H332-H311-H412
防范说明 P210-P273-P280-P301+P312-P303+P361+P353-P304+P340+P312
危险品标志 F,C
危险类别码 R11-R20/21/22-R34
安全说明 S16-S26-S36/37/39-S45
危险品运输编号 UN 3286 3/PG 2
WGK Germany 2
RTECS号 JM9230000
F 21
自燃温度 325 °C
Hazard Note Flammable
TSCA Yes
危险等级 3
包装类别 II
海关编码 29319090
毒害物质数据 999-97-3(Hazardous Substances Data)
毒性 LDLO i.p. in mice: 650 mg/kg (Petrarch Systems Inc. Product Information Sheets)

应用领域

用途一
特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
用途二
为阿米卡星药用中间体,是羟基及氨基保护剂
用途三
用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。
用途四
碱性硅烷化保护剂,无机填料处理剂

制备方法

方法一
将109g(1.0mol)三甲基氯硅烷溶于500ml无水乙醚,通入氨气,立即出现白色沉淀。加热至回流,慢慢通氨维持6h,使氯化铵沉降、过滤,取乙醚溶液先蒸出乙醚,再蒸出六甲基二硅氨烷,得52.5g,收率65%。

上下游产品信息

化学品安全说明书(MSDS)

六甲基二硅烷胺(999-97-3).msds

999-97-3(安全特性,毒性,储运)

储运特性
库房通风低温干燥; 与氧化剂、酸类分开存放
毒性分级
中毒
急性毒性
口服- 大鼠 LD50: 850 毫克/ 公斤; 口服- 小鼠 LDL0: 850 毫克/ 公斤
可燃性危险特性
遇明火、高温、氧化剂易燃; 遇水分解有毒硅化物气体; 燃烧产生有毒氮氧化物烟雾
类别
易燃液体
灭火剂
干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211灭火剂

常见问题列表

有机硅化合物
六甲基二硅氮烷,英文缩写HMDS,一种重要的有机硅化合物,最常用来增加光刻胶在品圆表面附着力的底漆层,易燃且燃点为6.7℃,当在空气中的浓度为0.8%-16%时具有爆炸性,HMDS会强烈地与水、酒精和矿物质酸反应释放出氨水NH3,生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下,与醇或酚反应,生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应,放出NH3或NH4Cl,生成三甲基氯硅烷。
光刻胶应用
六甲基二硅氮烷 (HMDS) 底涂通常在应用光刻胶之前使用。1970 年,IBM 的 RH Collins 和 FT Devers 在美国专利 3,549,368 中首次描述了 HMDS 作为光刻胶粘合促进剂的用途。该工艺已从基于将晶圆浸入 HMDS 溶液中的做法逐步发展为基于蒸汽的过程。尽管可以通过旋涂将 HMDS 涂敷在晶圆上,但通常不推荐这样做,因为 HMDS 厚层的蒸汽蒸发会在后期造成问题。最典型的 HMDS 应用在真空室中,该真空室将基板的加热与暴露于 HMDS 蒸气相结合。
六甲基二硅氮烷 (HMDS) 提高了光刻胶的附着力
HMDS提高了光刻胶的附着力
 由于从环境湿度中吸收了一层水,硅晶片的表面通常是亲水的。为了光刻胶的适当粘附,需要使表面更疏水以更好地匹配光刻胶的化学性质。该过程的第一步称为脱水烘烤。顾名思义,该步骤的目的是去除晶圆表面的水分。此步骤通常在真空中进行,需要大约 140 至 160 °C 的温度。如果不去除水层,则在后续显影或化学蚀刻过程中存在光刻胶分层的风险。然而,在这一步之后,晶圆表面仍然是亲水的,因为脱水使表面恢复到自然状态。在原生状态下,硅晶片的顶部有一层薄薄的天然氧化物,当暴露在大气湿度下时会形成。在化学上,这被视为硅表面的 OH 基团。为了使光刻胶正确粘附,表面需要更疏水(防水)。
 HMDS处理
脱水烘烤从晶圆表面去除多余的材料(即吸附的水),而 HMDS 处理将添加单层材料,使其对光刻胶更具吸引力。脱水烘烤后,表面暴露于蒸汽 HMDS,通常在设置为 130 至 160 °C 的热底漆烘箱中。晶圆表面的 OH 基团会与 HMDS 的甲基发生反应,从而使表面更加疏水。表面会更好地与光刻胶的化学成分相匹配,但也不易吸水。
危险性
六甲基二硅氮烷是主危3类副危6.1类/8类的危险货物,具有以下危险性质:
易燃液体和蒸气,吞咽有害、皮肤接触会中毒,吸入会中毒。
其蒸气与空气可形成爆炸性混合物,遇明火、高热极易燃烧爆炸,爆炸极限范围0.8%-16.3%。
与氧化剂接触猛烈反应。遇水和甲醇发生化学反应而分解。

图谱信息

六甲基二硅氮烷(999-97-3)质谱(MS)六甲基二硅氮烷(999-97-3)核磁图(1HNMR)六甲基二硅氮烷(999-97-3)核磁图(13CNMR)六甲基二硅氮烷(999-97-3)红外图谱(IR1)六甲基二硅氮烷(999-97-3)Raman光谱

知名试剂公司产品信息

999-97-3(sigmaaldrich) Sigma Aldrich

六甲基二硅氮烷价格(试剂级)

报价日期产品编号产品名称CAS号包装价格
2024/11/08L16519六甲基二硅杂氮烷,电子级, 99+%
Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+%
999-97-325ml419元
2024/11/08L16519六甲基二硅杂氮烷,电子级, 99+%
Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+%
999-97-3100ml990元
2024/11/08L16519六甲基二硅杂氮烷,电子级, 99+%
Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+%
999-97-3500ml3310元

供应商信息 更多

上海康拓化工有限公司
大货
联系电话: 021-69185552 13701777608
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:≥99%
包装信息:1Kg/RMB 150;25Kg150Kg
上海炙平生物科技有限公司
大货
联系电话: 13621780388
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:>=99.5%
备注:150kg/桶/
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
黄金产品
联系电话: 400-400-6206333 18521732826
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅胺烷
英文名称:Hexamethyl disilylamine
CAS:999-97-3
纯度:AR,98%
包装信息:100ml/RMB 94.90;500ml/RMB 233.90;250ml/RMB 146.90
备注:试剂级
康迪斯化工(湖北)有限公司
大货 现货 黄金产品
联系电话: 18064039730
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99.5%
包装信息:1kg/RMB 200;20kg/RMB 100;150kg/RMB 60
备注:现货,可分装
库存量: 1000kg
现货日期: 2024/12/30 9:00:08
山东艺鸿化工有限公司
黄金产品
联系电话: 13305392349; 15269100373
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99
备注:山东艺鸿化工 200桶/300
济南泉胜化工有限责任公司
大货 现货 黄金产品
联系电话: 0531-80962058 13012986817
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99.5
包装信息:150kg/桶/RMB 6210;150kg/桶
备注:批发,零售
库存量: 9999999g
现货日期: 2024/12/30 13:27:19
河北克拉维尔生物科技有限公司
黄金产品
联系电话: 19930503252
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99%
包装信息:150K
备注:六甲基二硅氮烷
荆州市尹杰化工有限公司
黄金产品
联系电话: 18008658728
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99%
包装信息:150Kg/RMB 45;25Kg1000Kg
备注:支持取样 可开发票
河北嘉诚商贸有限公司
黄金产品
联系电话: 15031159310
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99%
包装信息:1kg/RMB 57
上海和化化工有限公司
黄金产品
联系电话: 15121167815
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99%
包装信息:200公斤
南京哈柏医药科技有限公司
现货
联系电话: 025-85760892 13376090521
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:0.99
包装信息:大货,可根据客户需求包装
备注:Kg级|
库存量: >5kg
现货日期: 2024/7/1 9:24:12
上海爱蝶实业有限公司
现货
联系电话: 021-58957966 18930537195
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:>=99%
包装信息:On Request
库存量: >6000kg
现货日期: 2024/12/25 8:00:36
上海乾劲化工科技有限公司
现货
联系电话: 021-20900665 17321230821
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
CAS:999-97-3
纯度:99.0%
备注:25公斤,可分成小包装
库存量: 1000公斤
现货日期: 2024/12/20 18:41:13
苏州矽索新材料有限公司(生产型企业)
现货
联系电话: 0512-65402974 18550909935
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:999-97-3
CAS:999-97-3
纯度:99.0%
包装信息:1KG,5KG,10KG
库存量: 10kg
现货日期: 2024/12/25 16:59:55
济南仁源化工有限公司
现货
联系电话: 0531-86128689 18396852370
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99%
包装信息:150KG/RMB 100
备注:150公斤/桶 可分装
库存量: >30t
现货日期: 2024/12/30 9:41:23
武汉弘德悦欣医药科技有限公司
现货
联系电话: 027-83850116 18164090116
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷;六甲基二硅亚胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:99% HPLC
包装信息:5KG;1KG;100kg
备注:企标
库存量: >1kg
现货日期: 2024/12/23 9:02:59
武汉欣扬瑞和化学科技有限公司
现货
联系电话: 13720274133
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:0.999
包装信息:200L塑桶/衬塑铁桶包装,净重150KG
备注:100t
库存量: 100kg
现货日期: 2024/12/30 9:17:19
四川普西奥标物科技有限公司
现货
联系电话: 028-64441822 18581895003
产品介绍:
中文名称:六甲基二硅氮烷
英文名称:Hexamethyldisilazane
CAS:999-97-3
纯度:>=95%
包装信息:20mg;50mg;100mg
备注:医药级
库存量: 10mg
现货日期: 2024/12/19 11:05:22

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