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乙硅烷

乙硅烷,1590-87-0,结构式
  • 中文名称:乙硅烷
  • 中文别名:乙硅烷 ;二矽烷
  • 英文名称:DISILANE
  • CAS No:1590-87-0
  • EINECS号:216-466-5
  • 分子式:H6Si2
  • 产品类别:有机试剂

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乙硅烷
乙硅烷
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纯度: ≥99.999%
类别:半导体
包装:10元/Kg
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乙硅烷
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类别:电子特气
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用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。