乙硅烷

化学性质用途生产工艺

乙硅烷

CAS号:1590-87-0
英文名:DISILANE
中文名:乙硅烷
CBNumber:CB1336368
分子式:H6Si2
分子量:62.22
MOL File:1590-87-0.mol

乙硅烷化学性质

熔点 :-132°C
沸点 :-14,5°C
密度 :0,686 g/cm³
闪点 :<10°C
溶解度 :reacts with H2O, ctc, chloroform; soluble in EtOH, benzene
形态 :colorless gas
颜色 :colorless gas; flammable
比重 :0.686
水溶解性 :soluble CS2, ethanol, benzene [MER06]
水解敏感性 :10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
Merck :13,3391
稳定性 :Pyrophoric. Reacts violently with oxidizers and halogens. May form explosive mixtures with air.
InChIKey :PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N
CAS 数据库 :1590-87-0
EPA化学物质信息 :Disilane (1590-87-0)

安全信息

危险品标志 :F,Xn
危险类别码 :17-20/21-36/37/38-42
安全说明 :16-24-26-36/37/39
危险品运输编号 :2203
WGK Germany :3
TSCA :No
危险等级 :2.1

乙硅烷性质、用途与生产工艺

化学性质
乙硅烷是一种有毒的化合物，在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似，都是无色易燃的气体，但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱，因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源，只要经过简单的化学反应就可以得到氢。
用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
生产工艺
硅化镁法
Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2
反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它们精制分离后得乙硅烷。
还原法
用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。
甲硅烷无声放电法
甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
生产方法

1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。

2. 甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。

3. 采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。