丙硅烷

丙硅烷是一种英文名称为Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane的化学物质。它的主要用途为半导体硅膜制造、非晶硅制造。

丙硅烷在常温常压下为可燃性有毒液体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷和乙硅烷更强。在空气中能自燃。它在空气中的爆炸范围不详，但是可以估计、比硅烷的爆炸范围还大。因此，当把它与空气接触时，为安全起见，必须把浓度控制存0.1%以下。丙硅烷的热稳定性也比硅烷差，靠其放电能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水，不与酸反应，但能与碱反应生成硅酸和氢。与单体卤素激烈反应。它无腐蚀性。