双(二乙基氨基)硅烷
中文名称:双(二乙基氨基)硅烷
英文名称:SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
CAS号:27804-64-4
分子式:C8H22N2Si
分子量:174.36
EINECS号:
Mol文件:27804-64-4.mol
双(二乙基氨基)硅烷 性质
| 沸点 | 70°C (30mm) |
|---|---|
| 密度 | 0.804 |
| 形态 | 液体 |
| 酸度系数(pKa) | 10.31±0.70(Predicted) |
| 比重 | 0.804 |
| 颜色 | 无色 |
| 敏感性 | air sensitive, moisture sensitive |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
双(二乙基氨基)硅烷 用途与合成方法
双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。 目前作为二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷与二烷基胺的反应而合成的方法中，除了目标二烷基氨基硅烷以外，还大量副产二烷基胺的盐酸盐，因此在获得目标二烷基氨基硅烷时，需防止由于大量溶剂所造成的体积效率降低，从而廉价地大量制造。
作为使二烷基胺与氯硅烷反应时的溶剂，使用对于反应中所副产的二烷基胺的盐酸盐及金属氯化物而言溶解度高的非质子极性溶剂，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、难以溶解卤素化合物的直链状烃或分支状烃，藉此可体积效率高地制造卤素含量少的二烷基氨基硅烷。进行精馏，此可获得卤素含量(氯)成分低的高品质的二烷基氨基硅烷。现有专利及文献技术所使用双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精馏方式，双(二乙基氨基)硅烷纯度难以超过99.99%。
急性毒性 - 口服 - 类别3
急性毒性 - 吸入 - 粉尘/气雾 - 类别4
急性毒性 - 吸入 - 蒸气 - 类别4
急性毒性 - 吸入 - 气体 - 类别4
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武汉恒鑫半导体材料有限责任公司
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产品介绍：
中文名称：双(二乙基氨基)硅烷
英文名称：Bis(diethylamino)silane
CAS：27804-64-4
纯度：99.99999％
包装信息：10g/RMB 2800;25g/RMB 7260
备注：超高纯度ALD级前驱体材料，我司能长期稳定批量供货，具有10kg等超大包装规格，量大从优，欢迎采购！
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产品介绍：
中文名称：双(二乙基氨基)硅烷
英文名称：Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM
CAS：27804-64-4
纯度：99% (99.999%-Si)
包装信息：25g;5g
备注：化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
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产品介绍：
英文名称：BIS(DIETHYLAMINO)SILANE
CAS：27804-64-4
包装信息：10g
备注：SIB1069.0
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产品介绍：
中文名称：双(二乙氨基)硅烷
英文名称：bis(diethylamino)dihydrosilane
CAS：27804-64-4
纯度：99.9%(99.9999%-Si)
包装信息：5g;25g;1g
上海博氏医药科技有限公司
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产品介绍：
中文名称：双(二乙基氨基)硅烷
英文名称：SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
CAS：27804-64-4
纯度：98% GC
包装信息：5kg;1kg
双(二乙基氨基)硅烷生产厂家及价格列表
aladdin 阿拉丁 B281797 双（二乙氨基）硅烷 27804-64-4 90%
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
2024-04-17
双(二乙基氨基)硅烷 27804-64-4
武汉恒鑫半导体材料有限责任公司
2024-04-02
