双(二乙基氨基)硅烷新闻专题

本文介绍了一种由双(二乙基氨基)硅烷精制得高纯度双(二乙基氨基)硅烷的方法，该方法可以得到体积分数99.999%的产品。

双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。目前作为二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷与二烷基胺的反应而合成的方法中，除了目标二烷基氨基硅烷以外，还大量副产二烷基胺的盐酸盐，因此在获得目标二烷基氨基硅烷时，需防止由于大量溶剂所造成的体积效率降低，从而廉价地大量制造。 作为使二烷基胺与氯硅烷反应时的溶剂，使用对于反应中所副产的二烷基胺的盐酸盐及金属氯化物而言溶解度高的非质子极性溶剂，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、难以溶解卤素化合物的直链状烃或分支状烃，藉此可体积效率高地制造卤素含量少的二烷基氨基硅烷。