四氟化钛新闻专题

本文使用高纯NF3作为反应气体制得高纯度四氟化钛，反应副产物对环境无污染，降低了生产成本；该方法工艺流程简单，适用于大规模生产。

四氟化钛呈白色粉末，其可与干燥的气体如O2、N2、CO、CO2、HCl、SO3、CS2等都不反应。在微电子工业中用作化学气相沉积或离子注入形成硅化钛或钛膜，制作低电阻、高熔点的电路互联线和栅极。其制备方法有两种，一种是采用高纯金属钛粉直接氟化，反应产物在280～290℃下进行升华纯化，可获得纯度达99％ 的四氟化钛产品，如研究公开的一种制备四氟化钛的方法即采用高纯金属钛粉直接氟化的方法；另一种是将无水氟化氢和TiCl4反应，反应产物在无水情况下进行蒸馏，TiF4在284℃时升华即生成白色固体TiF4。