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气相色谱测定六甲基二硅氮烷

发布日期:2024/6/21 10:09:30

硅氮烷是具有Si-N键的胺的硅类似物,是一种具有独特性能的有机化合物,在新材料领域有着广泛的应用,尤其是在半导体工业中的应用。但是,在硅氮烷类化合物合成过程中,反应条件往往十分苛刻,若生产过程中温度、压力控制不当,就可能导致产品中存在较高的杂质。因此,对硅氮烷类化合物纯度的准确分析,是对生产过程的有效控制,也是产品质量控制的重要内容之一。本文将介绍一种利用气相色谱测定六甲基二硅氮烷纯度的方法[1]

精确确定材料中的杂质含量,测定硅氮烷类化合物的纯度是至关重要的,硅氮烷类纯度分析方法有多种,如色谱法、热分解法、热重分析法等,但色谱法是应用较为广泛的一种方法。采用气相色谱法测定硅氮烷类纯度,分析过程简单,分析速度快。本文根据T/FSI 012-2017的方法,经过检测条件的优化,建立了GC-4100气相色谱仪检测六甲基二硅氮烷纯度的方法。实验条件见下图。

六甲基二硅氮烷测定实验条件

实验过程中,使用了面积归一法定量。本文实验表明,该方法操作简单、线性及重复性良好,测试结果准确,可以满足硅氮烷类化合物的纯度测定需求,供相关人员参考。

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