四甲基氢氧化铵的碱性与毒性

四甲基氢氧化铵（TMAH或TMAOH）是一种分子式为 N(CH3)4+ OH− 的季铵碱，也是这类化合物中最简单的一种。这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态。商业上，TMAH通常以水溶液、甲醇溶液或五水合物的形式销售。其固体和溶液均为无色，不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味，但样品常有强烈的鱼腥味，因其含有三甲胺的不纯物。

碱性

四甲基氢氧化铵的市售品以水溶液、甲醇溶液和五水合物为主，溶液浓度常见于25%。四甲基氢氧化铵五水结晶化合物是一种超强碱。它可以结晶出多种水合物，这些盐的特点是分离良好的Me4N+阳离子和氢氧根阴离子。氢氧化物基团通过氢键与结晶水相连。尚未分离出无水TMAH。

化学性质

四甲基氢氧化铵和其它碱一样，可以发生酸碱中和反应。例如它和氢氟酸反应，生成四甲基氟化铵：

NMe4⁺OH⁻ + HF → NMe4⁺F⁻+ H2O

它在溶液中可以和铵盐发生复分解反应，该反应由氨逸出反应体系推动进行。例如它和硫氰酸铵反应，可以制得四甲基硫氰酸铵：

NMe4⁺OH⁻ + NH4⁺SCN⁻ → NMe4⁺SCN⁻ + NH3 + H2O

它受热可以分解，二甲醚是主要产物（而非甲醇）。

工业用途

四甲基氢氧化铵的工业用途之一是半导体制造中用于硅的各向异性蚀刻，在光刻工艺中作为碱性溶剂开发酸性光刻胶，对剥离光刻胶有很好的效果。TMAH具有一定的相转移催化剂性能，在铁流体的合成中作为表面活性剂，抑制纳米粒子的聚集。

TMAH是目前最常用的试剂，用于热化学裂解，热化学裂解是一种同时涉及热解和化学衍生分析物的分析技术。

2 NMe4⁺OH⁻ → 2 NMe3 + MeOMe + H2O

毒性

四甲基氢氧化铵在水中解离出[(CH3)4N]+和OH−，其阳离子可被人体吸收，具有经皮急性毒性，接触可致死。目前没有解毒剂。