993-07-7
中文名称
三甲基硅烷
英文名称
TRIMETHYLSILANE
CAS
993-07-7
分子式
C3H10Si
分子量
74.2
MOL 文件
993-07-7.mol
更新日期
2026/06/13 17:34:17
结构式
基本信息
中文别名
三甲基硅烷
英文别名
Silane, trimethyl-
(CH3)3SiH
trimethyl-silan
TRIMETHYLSILANE
trimethylsilicon
SILICON TRIMETHYL
Trimethylsilane,97%
Trimethylsilane 99.9%
2-Methyl-2-silapropane
Trimethylsilane 99.99%
(CH3)3SiH
trimethyl-silan
TRIMETHYLSILANE
trimethylsilicon
SILICON TRIMETHYL
Trimethylsilane,97%
Trimethylsilane 99.9%
2-Methyl-2-silapropane
Trimethylsilane 99.99%
所属类别
化学试剂：硅烷试剂
物理化学性质
| 熔点 | -135,9°C |
| 沸点 | 6,7°C |
| 密度 | 0,638 g/cm3 |
| 折射率 | 1.3800 (estimate) |
| 闪点 | <-29°C |
| 形态 | 液体 |
| 比重 | 0.638 |
| 水溶解性 | 1.4g/L at 20℃ |
| 比热容 | Cp(gas):1.58895J/(g·K),at 25℃ |
| 水解敏感性 | 3: reacts with aqueous base |
| InChI | InChI=1S/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3 |
| InChIKey | PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | [SiH](C)(C)C |
| LogP | 2.2 at 20℃ |
| CAS 数据库 | 993-07-7 |
| EPA化学物质信息 | Silane, trimethyl- (993-07-7) |
安全数据
| 危险性符号(GHS) |    GHS02,GHS04,GHS07 |
| 警示词 | 危险 |
| 危险性描述 | H220-H315-H319-H335 |
| 防范说明 | P210-P280-P321 |
| 危险类别码 | 12-36/37/38 |
| 安全说明 | 9-16-26-33 |
| 危险品运输编号 | 3161 |
| TSCA | Yes |
| REACH 注册登记 | Active |
| 海关编码 | 2931900050 |
常见问题列表
简介
三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。
化学性质
三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体，其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。
用途
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethylsilane, 97%
CAS：993-07-7
纯度：97%
包装信息：100g
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英文名称：TRIMETHYLSILANE
CAS：993-07-7
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：TRIMETHYLSILANE
CAS：993-07-7
纯度：99% HPLC
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethylsilane
CAS：993-07-7
纯度：98%
包装信息：5g
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：TRIMETHYLSILANE
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纯度：97%
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纯度：95+%
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethysilane
CAS：993-07-7
纯度：95%+
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethylsilane
CAS：993-07-7
纯度：99%--99.9999%
包装信息：2L;4L;8L;10L;40L;44L;50L
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethylsilane
CAS：993-07-7
纯度：>=98.0%
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英文名称：Trimethylsilane
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纯度：99% HPLC
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethylsilane, 97%
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纯度：99.999%
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中文名称：三甲基硅烷
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中文名称：三甲基硅烷
英文名称：Trimethylsilane
CAS：993-07-7
纯度：99%--99.9999%
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中文名称：三甲基硅烷
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CAS：993-07-7
备注：医药中间体合成