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二氯硅烷
二氯硅烷
中文名称:
二氯硅烷
中文别名:
三氯矽烷;二氯硅烷;电子级高纯二氯二氨硅;二氯二氢硅/二氯硅烷
英文名称:
Dichlorosilane
CAS No:
4109-96-0
EINECS号:
223-888-3
分子式:
Cl2H2Si
产品类别:
无机化工
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用途
二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料,其优点是它在较低温度可以分解,并且有较高的硅晶体生长速率。
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