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二氯硅烷

二氯硅烷,4109-96-0,结构式
  • 中文名称:二氯硅烷
  • 中文别名:三氯矽烷;二氯硅烷;电子级高纯二氯二氨硅;二氯二氢硅/二氯硅烷
  • 英文名称:Dichlorosilane
  • CAS No:4109-96-0
  • EINECS号:223-888-3
  • 分子式:Cl2H2Si
  • 产品类别:无机化工

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用途
二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料，其优点是它在较低温度可以分解，并且有较高的硅晶体生长速率。