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乙硅烷
乙硅烷
中文名称:
乙硅烷
中文别名:
乙硅烷 ;二矽烷
英文名称:
DISILANE
CAS No:
1590-87-0
EINECS号:
216-466-5
分子式:
H6Si2
产品类别:
有机试剂
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乙硅烷
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用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中,Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
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