二氟代氙

供应高纯二氟代氙XeF2 CAS号13709-36-9 半导体刻蚀蚀刻 氟化试剂

        二氟化氙（XeF2），又称二氟代氙，分子量为169.30，是一种无色固体，在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解，在酸性溶液中较为稳定，水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的，具有令人发呕的恶臭。在电子工业中，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，由于XeF2和硅的化学反应是自发反应，XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性，在XeF2对硅进行腐蚀过程中，XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面，并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4，从而实现对硅的腐蚀。

 
    山东重山光电材料股份有限公司是一家集研发、中试、产业化为一体的高新技术企业，建有完整的氟化石墨烯规模化示范生产线及功能氟碳材料性能评价实验室，能够大批量生产供应高品质氟碳材料（氟化石墨烯、氟化石墨等）。完善的上游高端原材料规模化生产线，为公司在锂氟化碳一次电池（BR电池）及其关键电池材料、热电池及其关键材料、含氟生物医药材料、半导体支撑材料、稳定同位素材料、功能晶体材料、特种有机氟材料等多种高新技术产品的生产提供了充足的原材料供应。

     公司成立于2015年，坐落于山东省淄博市淄川区南韩工业园内，项目投资 15亿元，占地 200 亩。2018年公司顺利通过了“国家高新技术企业”认定。公司投资配置了5000平方米的研发、中试基地，可同时开展功氟碳材料，高比能锂电池正、负极材料，含氟医药生物材料，半导体材料等相关研制与生产，与多家大学、试验研究所建立研究合作关系 ，材料性能超越进口产品。