13709-61-0
中文名称
二氟化氙
英文名称
XENON DIFLUORIDE
CAS
13709-61-0
分子式
F2Xe
分子量
169.29
MOL 文件
13709-61-0.mol
更新日期
2024/04/19 11:21:01
结构式
基本信息
中文别名
二氟化氙
英文别名
XeF4
Difluoroxenon
Tetrafluoroxenon
XENON DIFLUORIDE
XENON(II)FLUORIDE
xenon tetrafluoride
Tetrafluoroxenon(IV)
Xenon fluoride (XeF4)
Xenon(IV) tetrafluoride
Xenon fluoride (XeF4), (T-4)-
Difluoroxenon
Tetrafluoroxenon
XENON DIFLUORIDE
XENON(II)FLUORIDE
xenon tetrafluoride
Tetrafluoroxenon(IV)
Xenon fluoride (XeF4)
Xenon(IV) tetrafluoride
Xenon fluoride (XeF4), (T-4)-
所属类别
有机原料：有机氟化合物
物理化学性质
| 熔点 | 129 °C(lit.) |
| 沸点 | 115.73°C (estimate) |
| 密度 | 4.32 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气压 | 3.8 mm Hg ( 25 °C) |
| 溶解度 | reacts with H2O |
| 形态 | 无色单斜晶体 |
| 颜色 | colorless monoclinic crystals, crystalline |
| 水溶解性 | reacts violently with H2O, forming Xe, O2, HF, and XeO3 [DOU83] |
安全数据
| 危险品标志 | O,T+ |
| 危险类别码 | 8-25-26-34 |
| 安全说明 | 17-26-28-36/37/39-45 |
| 危险品运输编号 | UN 3087 5.1/PG 2 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | ZE1294166 |
| F | 1-10 |
| 危险等级 | 5.1 |
| 包装类别 | I |
常见问题列表
概述
无色透明四方晶体。相对密度4.32(25/4℃)，熔点129℃，固体蒸气压为4.6×133.322Pa(25℃)。蒸气也是无色的，有恶臭。易溶于无水氟化氢、氟化亚硝酰•三(氟化氢)和五氟化碘，但不发生电离。能被氢还原生成氙和氟化氢。与氟反应生成四氟化氙或六氟化氙。遇水则水解，过程很复杂。在日光直射下，氙与氟反应而制得。
用途
制备一种二氟化氙气相刻蚀阻挡层，包括如下步骤：(1)将二氟化氙气体喷洒到裸露的阻挡层的表面；(2)采用光束仅照射电介质层上表面的阻挡层，使电介质层上表面的阻挡层的刻蚀速率高于沟槽和连接孔侧壁上的阻挡层的刻蚀速率。本发明通过向电介质层上表面的阻挡层照射光束，提高了电介质层上表面的阻挡层的刻蚀速率，使电介质层上表面的阻挡层的刻蚀速率高于沟槽和连接孔侧壁上的阻挡层的刻蚀速率，避免沟槽和连接孔侧壁上的阻挡层过度刻蚀，提高了微观上的刻蚀均匀性，达到了更好的工艺效果。
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中文名称：二氟代氙
英文名称：Xenon difluoride
CAS：13709-61-0
纯度：>=99.99%
包装信息：100g/;500g/;1kg/;2kg/;5kg/
备注：100g/瓶/;500g/瓶/;1ASSAYS/;2ASSAYS/;5ASSAYS/
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CAS：13709-61-0
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CAS：13709-61-0
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中文名称：二氟化氙
英文名称：XENON DIFLUORIDE
CAS：13709-61-0
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中文名称：二氟化氙
英文名称：XENON DIFLUORIDE
CAS：13709-61-0
纯度：99% HPLC
包装信息：1KG;5KG;25KG
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中文名称：二氟化氙
英文名称：XENON DIFLUORIDE
CAS：13709-61-0
包装信息：5g/RMB 1000