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二氟化氙 13709-61-0

Xenon difluoride
13709-61-0
10000 50克 起订
上海 更新日期:2024-09-21

无锡开腾能源科技有限公司

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联系人:钟鑫
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手机:15903302207 拨打
邮箱:zhongxin326@sohu.com

产品详情:

中文名称:
二氟化氙
英文名称:
Xenon difluoride
CAS号:
13709-61-0
产品类别:
半导体刻蚀

用途制备一种二氟化氙气相刻蚀阻挡层,包括如下步骤:(1)将二氟化氙气体喷洒到裸露的阻挡层的表面;(2)采用光束仅照射电介质层上表面的阻挡层,使电介质层上表面的阻挡层的刻蚀速率高于沟槽和连接孔侧壁上的阻挡层的刻蚀速率。本发明通过向电介质层上表面的阻挡层照射光束,提高了电介质层上表面的阻挡层的刻蚀速率,使电介质层上表面的阻挡层的刻蚀速率高于沟槽和连接孔侧壁上的阻挡层的刻蚀速率,避免沟槽和连接孔侧壁上的阻挡层过度刻蚀,提高了微观上的刻蚀均匀性,达到了更好的工艺效果。



XeF2;氟化氙;

公司简介

主要经营特种气体、稀有气体、高纯气体、有机气体、含氟嘞气体以及化工产品 专业为各行业定制混合气体和标准气体,同时提供相关气体设备和工程安装等,为电子、太阳能、半导体、电力、科研、照明、制药、石油化工、建材和食品等行业提供各种特种气体产品与技术服务,公司享有特殊自营进出口气体权。   公司由从事气体行业25年的资深技术人员创建,引进美国先进的气体生产技术、分析的设备和质量管理理念。目前,公司生产工艺和产品质量均达到国内先进水平,与国际、国内著名气体企业多有深度合作。国际方面,公司是美国SAP公司(美国特种气体公司)中国总经销商,同时也被多家外企授予总代理资格,可以从美国、俄罗斯、韩国、台湾、中东等国家地区直接进口高品质产品;国内方面,公司已与武钢氧气有限公司、山东东岳集团、浙江巨化集团等公司建立长期稳定的供销关系。公司主要产品包括原装进口和国产:氖气、氙气、氪气、氦气等稀有气体。标准气体、电光源混合气、激光混合气等标准混合气。六氟化硫、超纯氨、四氟化碳、硅烷等各种高纯气体产品,具有很强的竞争实力。   公司拥有一支专业的技术团队和工程安装队伍,为广大客户提供用气咨询、供气设计方案、各种气体容器、阀门仪表,充装装置的选型和安装服务。此外,公司可为客户提供电子气体供应管路的设计安装,集中供气系统投建的整套服务。   在产品运输配送方面,公司以专业运输团队和各种物流途径相结合的灵活方式,为客户提供“门到门”式的快捷、无忧服务,保证100%满意度。同时,结合国内外技术与资源优势,为客户提供更多产品供应,力争在质量与价格上更“给力”。公司秉承“顾客至上,锐意进取”的经营理念,坚持“合作双赢”的原则,以集约化、国际化团队,竭诚为客户提供专业化服务。   无锡开腾能源科技有限公司主营业务:   我公司的气体产品主营:特种气体、高纯气体、稀有气体和标准混合气体。特气体主要由进口和厂家代理直销为主,产销的特气种类齐全,具有很强的竞争力。至今为止,本公司经营的气体产品有八个系列共50多个品种。电子方面主要用气介绍如下:1、高纯气体 稀有气体:氘气、高纯氖气、氙气、氪气、氦气、二氟化氙及各种同位素气体 特种气体:六氟化硫、超高纯氨气、一氧化碳、四氟化碳、硅烷、超纯气体(6N以上)、六氟乙烷、三氟甲烷、二氟甲烷、一氟甲烷、八氟环丁烷、三氟化氮、 有机气体:甲烷、乙烷、丙烷、乙烯、丁烷、丙炔、丙二烯 2、混合气体 照明气体:电光源气、特种光源气、卤素灯用气 电子混合气:六氟化硫混合气、硅烷混合气、准分子混合气、其他 工业混合气:激光混合气、焊接混合气、氟氮混合气、其他 3、工业气体 电子工业用气体:氧、氮、氩、液氨、二氧化硫、超高压气体(含35MPa)

成立日期 (1年)
注册资本 300万元整
员工人数 10-50人
年营业额 ¥ 5000万-1亿
经营模式 贸易,工厂,试剂,服务
主营行业 有机原料,有机原料

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