六甲基二硅氮烷

六甲基二硅氮烷（Hexamethyldisilazane，HMDS，(CH₃)₃Si-NH-Si (CH₃)₃，CAS 999-97-3）分子量 161.39，是最常用的三甲基硅烷基（TMS）化试剂，工业上由三甲基氯硅烷与氨气反应（氯化铵沉淀过滤）制得，收率约 65%，也可由六甲基二硅氧烷胺化得到。物理性质上为无色透明易流动液体，有氨样气味，密度约 0.774 g/mL、熔点约 -78 ℃、沸点约 125–127 ℃、闪点约 9–20 ℃（闭杯）、自燃温度约 325–386 ℃，蒸气压 20 hPa（20 ℃），与丙酮、苯、乙醚、庚烷等有机溶剂混溶，遇水分解（释氨并生成六甲基二硅氧烷）。化学性质上以 Si-N-Si 键的高活性为核心：可与醇、酚、羧酸、胺等含活泼氢化合物反应生成 TMS 衍生物并只放出氨（易除去、无腐蚀），是羟基 / 氨基保护与表面疏水化的高效硅烷化试剂。它是半导体光刻胶附着力促进剂、抗生素合成羟基保护剂和气相白炭黑疏水改性的关键原料。高度易燃（爆炸极限 0.8–16.3%）、蒸气比空气重 4.6 倍，储存须密封防潮、远离氧化剂与酸，运输 UN 3286（3 类易燃液体，副危 6.1/8，Ⅱ 类包装）。

基本信息

中文名：六甲基二硅氮烷（六甲基二硅胺烷、六甲基二硅亚胺、药用硅氮烷）

英文名：Hexamethyldisilazane / Bis (trimethylsilyl) amine / 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

缩写：HMDS

化学式：(CH₃)₃Si-NH-Si (CH₃)₃ / C₆H₁₉NSi₂

分子量：161.39

CAS：999-97-3

EINECS：213-668-5

物理化学性质

外观：无色透明易流动液体，有氨样气味

熔点：约 -78 ℃（口径 -76.2 至 -82 ℃）

沸点：约 125–127 ℃（1013 hPa；NIST 399 K）

密度：约 0.774 g/mL（25 ℃；20 ℃ 约 0.77）

折射率：约 1.407–1.409（n20/D）

闪点：约 9–20 ℃（闭杯，口径 9/11/19/20 ℃）

自燃温度：约 325–386 ℃（温度等级 T2）

蒸气压：20 hPa（20 ℃）；黏度 0.9 cSt（25 ℃）；蒸气密度 4.6（vs 空气）

爆炸极限：0.8–16.3 %（V/V，部分口径上限 25.9–31%）

溶解性：与丙酮、苯、乙醚、庚烷、四氯乙烯等混溶；遇水缓慢水解为六甲基二硅氧烷 + 氨（酸催化加速）

主要用途（分领域）

表格

优势

与三甲基氯硅烷（TMCS，75-77-4）对比：同为 TMS 化试剂 ——HMDS 副产物仅为氨（易除、无腐蚀），TMCS 副产物为 HCl（需缚酸剂、腐蚀设备）；HMDS 更温和、产率高（常近定量）；TMCS 活性更强但需中和处理；

与 BSA（10416-59-8）、MSTFA（24589-78-2）对比：BSA/MSTFA 硅烷化能力更强、适用更惰性底物，但价高；HMDS 价廉、对醇酚高效 —— 是 "工作马" 级通用硅烷化剂；

与六甲基二硅氧烷（HMDSO，107-46-0）对比：HMDSO 是 HMDS 的水解产物，无硅烷化活性、仅作疏水介质 / 溶剂 ——不可互换；

安全信息（毒性与储存）

GHS 分类（CLP，GESTIS/Merck 口径）：

GHS02：易燃液体 2 类（H225 高度易燃液体和蒸气）

GHS06/GHS07：急性毒性 —— 经口 4 类（H302）、经皮 3 类（H311 皮肤接触有毒）、吸入 4 类（H332）

GHS09：水生环境长期危害（H412）

旧 EC 口径：F、C、Xn（R11/20/21/22/34/52/53）

信号词：Danger（危险）

健康危害：吞咽或吸入有害、皮肤接触有毒（大鼠经口 LD50 约 847 mg/kg、兔经皮 550 mg/kg）；蒸气刺激眼和呼吸道；遇湿分解释放氨气；燃烧分解产生氮氧化物；蒸气比空气重，可远距离回燃

防护：防爆通风环境、密闭系统操作；防护眼镜 / 面罩、耐溶剂手套（丁腈）、防护服；氨释放量大时用自给式呼吸器

泄漏 / 接触：

皮肤：脱去污染衣物，清水 + 肥皂冲洗，就医

眼睛：流动清水冲洗至少 15 min，就医

误服：漱口，勿催吐（释氨），立即就医

吸入：移至新鲜空气处，保持呼吸道通畅，给氧，就医

泄漏：切断火源，惰性材料吸附、防爆工具收集；严禁用水直接冲洗（放氨）

储存运输：密封、阴凉干燥通风（建议 <30 ℃）、防潮、氮气保护（保质期约 12 个月）；远离氧化剂、酸、水、醇；存储类别 3（易燃液体）；WGK 2；运输 UN 3286（3 类易燃液体，副危 6.1/8，Ⅱ 类包装，另有 UN 1992 易燃有毒液体口径）；灭火用干粉、CO₂、泡沫、水雾（忌直冲）