乙硅烷的用途与合成方法
发布日期:2022/5/12 11:34:29
乙硅烷（英语：Disilane），又称硅乙烷，是一种有毒的化合物，分子式为Si2H6，在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似，都是无色易燃的气体，但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱，因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源，只要经过简单的化学反应就可以得到氢。另外它也可以用来以薄膜沉积制备纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一。
用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
合成方法
硅化镁法
Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2
反应产物为单硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物，把它们精制分离后得乙硅烷。
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还原法
用氢化铝锂等还原剂还原六氯乙硅烷。乙硅烷用低温精馏和吸附等方法精制。
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甲硅烷无声放电法
甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
毒性
有关乙硅烷的毒性方面的文献资料很少，但是从理论上以及其它类似氢化物的毒性中可以推测出，乙硅烷也是有毒的。
安全防护
因为乙硅烷比硅烷更不稳定，所以，应该比硅烷更加注意。钢瓶温度不能冷却到乙硅烷的沸点(-14.3℃)以下，因为这是非常危险的。
因为乙硅烷在空气中自燃，很容易发现其泄漏，而且有时在泄漏时产生爆炸声，所以要沉着处理泄漏。
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