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76-16-4

中文名称六氟乙烷

英文名称 HEXAFLUOROETHANE

CAS 76-16-4

EINECS 编号 200-939-8

分子式 C2F6

MDL 编号 MFCD00000428

分子量 138.01

MOL 文件 76-16-4.mol

更新日期 2024/04/18 11:49:46

结构式

基本信息

中文别名六氟乙烷
全氟乙烷
R116全氟乙烷

英文别名 CFC-116
FC-116
HALOCARBON 116
HEXAFLUOROETHANE
PERFLUOROETHANE
1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane
C2F6
ethane,hexafluoro-
Ethylhexafluoride
f116
F-116
FC1160
Fluorocarbon 116
Freon 116
Freon 1166SY
freon116
Hexafluorethan
hexafluoro-ethan
Perfluorocarbon116
PFC116

所属类别有机原料：氟乙烷系列

物理化学性质

外观性质	无色、无臭的气体。
熔点	−100 °C(lit.)
沸点	−78 °C(lit.)
密度	1,607 g/cm³
蒸气密度	4.7 (vs air)
蒸气压	430 psi ( 21 °C)
折射率	1.2060
InChIKey	WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N
CAS 数据库	76-16-4(CAS DataBase Reference)
EPA化学物质信息	Hexafluoroethane (76-16-4)

安全数据

危险性符号(GHS)	GHS04
警示词	警告
危险性描述	H280
防范说明	P410+P403
危险品标志	Xi
安全说明	S38
危险品运输编号	UN 2193 2.2
WGK Germany	3
RTECS号	KI4110000
Hazard Note	Irritant
TSCA	T
危险等级	2.2
海关编码	2903392820
毒害物质数据	76-16-4(Hazardous Substances Data)

制备方法

方法1

以活性炭与氟为原料，在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气，通过控制电加热，供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后，可获得含ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８的粗品，然后把粗品混合物进行间歇低温精馏，提取Ｃ２Ｆ６，再用分子筛进一步进行低温吸附脱水，可获得纯度大于99.7%的Ｃ２Ｆ６。

化学品安全说明书(MSDS)

六氟乙烷(76-16-4).msds

76-16-4(安全特性,毒性,储运)

储运特性

库房通风低温干燥; 与易燃物分开存放

毒性分级

低毒

急性毒性

吸入-大鼠 LC: 20000 PPM/2小时

类别

压缩气体和液化气体

灭火剂

水

常见问题列表

简介

六氟乙烷在微电子工业中用于等离子蚀刻及表面清洗。六氟乙烷一直是Kanto Denak公司和另两家日本公司的样品。Kanto Denka Kogyo公司计划在下一财政年度大规模工业化生产六氟乙烷，该产品作为下一代清洁气体用于高集程度的半导体生产。六氟乙烷作为半导体氧化膜的超细清洁气体正日益引起人们的关注，并在2001开始用于生产。就是先使用的八氟丁烷作为蚀刻剂而言，当接触到孔径为140纳米或更小的元件时八氟丁烷无法起到蚀刻作用。

应用

六氟乙烷ODP值(臭氧层破坏潜能值)为零，GWP值(温室效应能力)为9200.主要应用在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业，另外少部分应用在医学手术中及其它新开发的领域。

制备

氟气或氮气和氟气的混合气体、四氟乙烯从不同的进料口进入温度为l0-60℃、压力为0.1～0.15 MPa的反应器中，控制气体在反应器中的空速为0.2-10min，进行反应，得到的部分反应产物在反应器出口端通过反应器外接循环设备离心风机循环返回反应器进口端，与通过进料口进来的氟气或氮气和氟气的混合气体以及四氟乙烯混合后进入反应器，循环反应；得到的另一部分反应产物直接从出料口出来，得到所述六氟乙烷。该发明所述方法工艺简单、反应条件温和、反应器价格便宜；所制备的六氟乙烷含量高、杂质含量低、收率高。

化学性质

六氟乙烷化学式C2F6，纯度>99.7%，为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体。微溶于水，熔点-100.6℃，沸点-78℃，液体密度1.60g/ml。

应用

知名试剂公司产品信息

76-16-4(sigmaaldrich) Sigma Aldrich

供应商信息更多

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司

联系电话： 0310-7182720-613 15620672519

产品介绍：

中文名称：六氟乙烷

英文名称：C2F6

CAS：76-16-4

纯度：99.999%

包装信息：30kg

备注：电子级

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上氟科技

现货

联系电话： 021-021-65170832 15601903708

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：99.00%

包装信息：500g,1kg,5kg

库存量： 5kg

现货日期： 2024/4/18 11:49:46

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武汉纽瑞德特种气体有限公司

大货现货

联系电话： 027-82652715 18986267605

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：99.999%

包装信息：47L

库存量： >40l

现货日期： 2024/4/3 16:27:56

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安耐吉化学&3A（安徽泽升科技有限公司）

联系电话： 021-021-58432009 400-005-6266

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：>=98%

包装信息：227G

备注：国产化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体

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南京维奥化工有限公司

联系电话： 025-87193546 18652950785

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CAS：76-16-4

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上海众巍化学有限公司

联系电话： 18824865657

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：99.999%

包装信息：47L/CGA660/40kg

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上海宇极赛氟科技有限公司

联系电话： +86-21-62456266 18191363752

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中文名称：六氟乙烷/C2F6/R116

英文名称：HEXAFLUOROETHANE

CAS：76-16-4

纯度：>99%

包装信息：10KG;43KG;1000KG

备注：工业级

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湖南秉航新材料有限公司

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

包装信息：1kg

备注：电子级：5N5

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武汉易司拓普科技有限公司

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：5N

包装信息：47L/

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同位素 (厦门)工贸有限公司

联系电话： 0510-051082803581 15903302207

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中文名称：六氟乙烷

CAS：76-16-4

包装信息：8L;40L;47L

备注：工业级、高纯级、超纯级 g\kg

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湖南省华中特种气体有限公司

联系电话： 0734-8755555 15674722888

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：98%

包装信息：100g:200g:500g

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安徽旺山旺水特种气体有限公司

联系电话： 159-0619-7626 13194677939

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Six fluorine ethane

CAS：76-16-4

纯度：99%--99.9999%

包装信息：2L;4L;8L;10L;40L;44L;50L

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陕西缔都医药化工有限公司

联系电话： 15229059051

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：99% HPLC

包装信息：25kg;1kg

备注：业务负责人：郑经理联系电话19829311668 (微信同号) QQ 3512361630

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佛山市智程气体有限公司

联系电话： 18098161577

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：5N（99.999%）

包装信息：47L、CGA660/Diss716、40kg

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茂图气体设备（上海）有限公司

联系电话： 17301833415

产品介绍：

中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：5N

包装信息：8L/40L/47L/50L/118L

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湖北东曹化学科技有限公司

联系电话： 027-83261126 18971318572

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中文名称：左旋-α-蒎烯

英文名称：(-)-α-Pinene

CAS：76-16-4

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湖南嘉航医药科技有限公司

联系电话： 0731-85567275 13517472705

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：电子级：5N

包装信息：5KG;1KG

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武汉百思达气体有限公司

联系电话： 15072387200

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中文名称：六氟乙烷

英文名称：Hexafluoroethane

CAS：76-16-4

纯度：99.999%

包装信息：47L

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