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四氟化碳
四氟化碳
中文名称:
四氟化碳
中文别名:
四氟甲烷;四氟化碳;四氟甲烷 四氟化碳 全氟化碳;四氟甲烷四氟化碳;四氟甲烷 R41;五氟乙烷/C2H5/R125;硼烷、乙 硼烷、硼烷混合气-远创气体;高纯四氟化碳;
四氟化碳
英文名称:
Carbon tetrafluoride
CAS No:
75-73-0
EINECS号:
200-896-5
分子式:
CF4
产品类别:
化学试剂
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R14四氟化碳
包装:48.8L/钢瓶;10L/钢瓶
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山东菏泽
山东省郓城汇诺化工有限公司
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用途
四氟化碳高浓度时有麻醉作用,化学稳定性及热稳定性均好,对许多试剂呈惰性。四氟甲烷其高纯气及其配高纯氧气的混合气,是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可作为低温致冷剂、等离子干法蚀刻剂、低温绝缘介质。四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。