双（叔丁基氨基）硅烷
- 中文名称:双（叔丁基氨基）硅烷
- 中文别名:N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺;双(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS;双(叔丁胺)硅烷;双(叔丁基氨基)硅烷;双(叔丁氨基)硅烷;N,N'-二叔丁基二苯胺
- 英文名称:Di(t-butylamino)silane
- CAS No:186598-40-3
- 分子式:C8H22N2Si
- 产品类别:有机硅化合物
全国(4)筛选
aladdin 阿拉丁 B281779 双（叔丁基氨基）硅烷 186598-40-3 ≥98%
现货
纯度：≥98%
类别：CVD和ALD前驱体
品牌：阿拉丁
包装：1元/g
¥739.90
上海
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
最新产品
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aladdin 阿拉丁 C192424 3-氯-6-甲基二苯并[c,f][1,2]硫氮杂卓-11(6H)-酮5,5-二氧化物 26638-53-9 ≥97%26638-53-9¥49.902026-10-02 -
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用途
双（叔丁基氨基）硅烷是（BTBAS）硅烷偶联剂的一种，BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体，可沉积均匀的氮化硅，可用于制备氮化硅薄膜，半导体器件和浅沟道隔离薄膜。