双(叔丁基氨基)硅烷
- 中文名称:双(叔丁基氨基)硅烷
- 中文别名:N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺;双(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS;双(叔丁胺)硅烷;双(叔丁基氨基)硅烷;双(叔丁氨基)硅烷;N,N'-二叔丁基二苯胺;N,N'-二叔丁基二苯胺
- 英文名称:DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
- CAS No:186598-40-3
- 分子式:C8H22N2Si
- 产品类别:有机硅化合物
全国(5)筛选
aladdin 阿拉丁 B281779 双(叔丁基氨基)硅烷 186598-40-3 ≥98%
纯度:≥98%
类别:高端化学
品牌:阿拉丁
包装:1元/g
¥739.90
上海
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
用途
双(叔丁基氨基)硅烷是(BTBAS)硅烷偶联剂的一种,BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体,可沉积均匀的氮化硅,可用于制备氮化硅薄膜,半导体器件和浅沟道隔离薄膜。