六氟乙烷

六氟乙烷为无色无嗅无味不可燃的无毒气体，比空气重得多，基本不溶于水，溶于丁烷、苯、甲苯等碳氢化合物，四氯化碳等氯化溶剂以及制冷工业用润滑油，也溶于酒精、酮类、脂类以及一些有机酸，不溶于正二醇、甘油、酚和蓖麻油。其物理化学性质稳定。 六氟乙烷ODP值(臭氧层破坏潜能值)为零，GWP值(温室效应能 力)为9200，主要应用在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业，另外少部分应用在医学手术中及其它新开发的领域。 六氟乙烷优良的热力性能和无毒、不可燃的安全性、分子结构的稳定性使其非常适合应用于超低温冷冻系统。目前，最主要的用法是六氟乙烷与三氟乙烷相配组成共沸混合制冷剂R508，按组分比例不同,分为R508A(61%R116+39%R23)和R508B(54%R116+46%R23)，其中又以R508B在科研制冷和医药制冷方面应用跟广泛。 六氟乙烷因其无毒无臭、高稳定性被广泛应用在半导体制造过程中,例如作为蚀刻剂(Dry Etch)、化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)后的清洗腔体。 在医学领域方面,六氟乙烷作为一种理化性质介于六氟化硫SF6和八氟丙烷C3F8之间的长效气体,应用于巩膜扣带术中,取得良好效果。成为黄斑裂孔性视网膜脱离手术中较为理想、安全、并可提高手术治愈率的玻璃体替代物。