双(二乙基氨基)硅烷
- 中文名称:双(二乙基氨基)硅烷
- 中文别名:双(二乙氨基)二氢硅烷;双(二乙基氨基)硅烷;双(二乙氨基)硅烷;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺
- 英文名称:Bis(diethylamino)silane
- CAS No:27804-64-4
- 分子式:C8H22N2Si
- 产品类别:有机原料
全国(6)筛选
aladdin 阿拉丁 B281797 双（二乙氨基）硅烷 27804-64-4 90%
纯度：90%
类别：高端化学
品牌：阿拉丁
包装：25元/g
¥6999.90
上海
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
用途
双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。有机氨基硅烷前体可以用于各种沉积工艺，包括但不限于原子层沉积(“ALD”)、 化学气相沉积(“CVD”)、 等离子体增强化学气相沉积(“PECVD”)、低压化学气相沉积 (“LPCVD”) 和常压化学气相沉积。几类化合物可用作含硅薄膜(例如，但不限于，氧化硅或氮化硅薄膜)的前体。