四(二甲胺基)鉿
- 中文名称:四(二甲胺基)鉿
- 中文别名:四(二甲胺基)铪(IV);四(二甲氨基)铪;四(二甲胺基);四(二甲胺基)鉿;四(二甲氨基)铪(IV);四(二甲胺基)铪;四(二甲基氨基)铪;四(二甲基氨基)铪(IV)
- 英文名称:TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)
- CAS No:19782-68-4
- 分子式:C8H24HfN4
- 产品类别:胺基金属
用途
四(二甲胺基)铪(TDMAH)化合物是一类越来越受到关注的材料,用来沉积铪的先驱物。铪氧化物薄膜是很可能用于COMS和下一代 DRAM中的候选高介电常数(高k)绝缘层材料。