电子级草酸水溶液144-62-7 单一金杂≤1ppb 半导体清洗ITO蚀刻液原料

电子级草酸水溶液属于高端湿电子化学品，为无色透明高纯草酸液体，采用超纯原料与纯化工艺制备，严格管控各类金属杂质离子，具备优秀的金属络合能力，可高效去除基材表面金属残留、氧化物污染物，对基材损伤小，适用于半导体、显示、光伏等精密电子制造湿法制程，可替代部分含氢氟酸清洗体系，降低工艺风险。

标准现货规格为10%电子级草酸水溶液，同时支持客户定制5%、15%等不同含量配比；每一批次产品均可提供COA检测报告，采用ICP-MS检测金属杂质，单一金属离子指标可控至≤1ppb，满足先进制程对超净高纯试剂的品质要求。

基础理化参数

产品名称：电子级草酸水溶液
别称：电子级草酸溶液、电子级乙二酸、电子级114-62-7、
电子级草酸

CAS号：144-62-7

分子式：C₂H₂O₄

分子量：90.035

外观：无色透明液体

标准含量：10%；可定制5%、15%浓度

草酸纯度：≥99.5%（HPLC检测）

关键金属杂质：Na、Mg、Al、K、Ca、Fe、Cu、Zn、Cr、Ni、Mn、Ag、Pb 单一金属离子≤1ppb（ICP-MS检测）

检测手段：滴定法、HPLC、ICP-MS、水分仪

主要应用领域

1. 半导体晶圆制程：晶圆湿法清洗、CMP后金属杂质去除、光刻配套清洗，去除硅片表面金属离子、氧化物残留，降低器件缺陷率，适配先进封装工艺。

2. 显示面板行业：TFT-LCD、OLED面板，ITO清洗、金属层表面处理，兼顾清洗效率与基板保护。

3. 光伏新能源：光伏电池片、硅材料表面清洗处理。

4. 其他精密电子：精密元器件、PCB前处理、实验室超高纯分析试剂。

质量体系保障：已通过 ISO9001 质量管理体系、ISO14001 环境管理体系认证，生产流程遵循 SEMI 国际标准要求。 精密检测：配备 ICP-MS 检测设备，提供金属杂质 COA 报告，支持 0.1ppb 量级杂质定量检测，质量全程可追溯。 高效交付：流程优化后定制样品交付周期可达行业常规周期 60%，匹配客户工艺开发进度。 防污染管控：采用 SUS304/SUS316 材质生产设备，严控 Fe、Cr、Ni 等金属离子渗漏风险。 洁净包装：配套半导体电子化学品专用洁净包装，执行洁净管控，严控微粒与污染物带入风险，满足行业洁净度使用要求。