六甲基二硅氮

中文名称 六甲基二硅氮烷 
英文名称 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane 
中文别名 六甲基二硅亚胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷 
CAS RN 999-97-3 
EINECS号 213-668-5 
分 子 式 C6H19NSi2 
分 子 量 161.39 
 物化性质 性　状 无色透明液体、无毒、略带胺味 
用　　途 为阿米卡星药用中间体，是羟基及氨基保护剂；特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。