电子级草酸

一、产品基本信息

• 产品名称：电子级草酸（高纯草酸）

• 英文名称：Electronic Grade Oxalic Acid

• CAS No.：144-62-7（无水）；6153-56-6（二水合物）

• 分子式：C₂H₂O₄（无水） / H₂C₂O₄・2H₂O（二水）

• 外观：白色结晶 / 结晶性粉末，无可见杂质

• 等级：电子级（SEMI 标准 / 高纯级）

二、核心产品特性

1. 超高纯度

   纯度 ≥99.5%–99.95%，部分高端型号达 5N（99.999%），满足高精工艺要求。

2. 极低杂质

   金属离子（Na、K、Fe、Ca、Pb 等）≤1 ppm 甚至 ppb 级，氯化物、硫酸盐、颗粒、有机物残留严格受控，不污染晶圆、不影响良率。

3. 强络合 + 还原性

   高效去除硅片、玻璃、金属表面氧化层、金属离子、有机残留，清洗力强、残留低、不腐蚀基底。

4. 稳定性好

   溶解性佳，水溶液酸性温和可控，批次一致性高，适合自动化制程稳定使用。