超纯甲烷

超纯甲烷 核心技术参数

基础标识

- 中文名：超纯甲烷

- 英文名：Ultra-high Purity Methane；UHP Methane

- CAS号：74-82-8（甲烷通用CAS号，超纯级无单独编号）

- 别名：高纯甲烷、电子级甲烷、甲烷（超纯品）、沼气主要组分（工业无曾用名，仅纯度/用途衍生称谓）

- 分子式：\boldsymbol{CH_4}（最简单的有机烷烃，单碳饱和烃）

核心属性

- 有机/无机：有机化合物（饱和脂肪烷烃，含碳氢共价键，是最简单的有机小分子）

- 理化属性：常温常压下为无色、无味、无臭的易燃气体，超纯品无任何杂质异味；密度0.717g/L（比空气轻），微溶于水，易溶于乙醇、乙醚等有机溶剂；沸点-161.5℃，熔点-182.5℃，临界温度-82.1℃；爆炸极限5.0%~15.0%（体积分数），遇明火、静电、高温极易燃烧爆炸，火焰为淡蓝色；本身基本无毒，高浓度下造成窒息缺氧，属于甲类易燃易爆危化品；化学性质稳定，常温下不与酸、碱、氧化剂反应，高温/催化剂下可发生氧化、裂解反应。

- 纯度指标：超纯甲烷纯度≥99.9999%（6N），电子级可达99.99999%（7N），杂质（O₂、N₂、CO、CO₂、H₂O等）均为ppb级。

储存/保存条件

核心遵循防爆、密闭、防泄漏、防静电原则，超纯品对容器洁净度、密封性要求更高，具体要求：

1. 储存于阴凉通风的甲类防爆库房，温度≤30℃，远离火种、热源、暴晒，专用钢瓶直立固定放置并加装防倾倒装置；

2. 采用内壁抛光、无油污的高纯气体专用钢瓶，配套不锈钢减压阀（禁与其他气体混用），与氧气、氯气、氧化剂、卤素、易燃助燃气体严格隔离存放（间距≥8m，防火堤分隔）；

3. 库房为防爆型设计，配备防爆通风/照明设备，禁止使用易产生火花的工具/机械，库区安装可燃气体检测报警仪（测爆型），实时监测浓度（控制在5.0%爆炸下限以下）；

4. 储存/操作区域做好静电接地和防雷措施，操作人员穿戴防静电劳保用品，搬运使用专用防静电手推车，严禁敲击、碰撞钢瓶；

5. 钢瓶按规范定期检验（每3年1次），全程密闭防泄漏，泄漏时立即疏散人员、开启防爆排风，切勿使用明火，严禁在低洼处停留（甲烷轻，向上扩散，但密闭空间易积聚）；

6. 超纯甲烷钢瓶需做好洁净度保护，减压阀使用前用高纯氮气吹扫，防止杂质污染。

主要用途

超纯甲烷因高纯度、低杂质特性，核心用于高端电子、半导体、科研等领域，少量适配高端工业工艺，具体：

1. 电子/半导体行业（核心用途）：6N/7N超纯甲烷作为刻蚀气、沉积气、掺杂气，用于半导体芯片、光伏电池、液晶屏、碳化硅器件的生产，是化学气相沉积（CVD）制备碳膜、硅碳化合物薄膜的关键原料，也用于等离子体刻蚀工艺；

2. 高端化工/合成：作为有机合成的基础原料，用于超纯甲醇、甲醛、乙炔等精细化工品的合成，适配高端医药、电子化学品的制备要求；

3. 科研/检测领域：用于气相色谱（GC）/气质联用（GC-MS）的高纯载气/标准气，核物理、天体物理的实验研究，超纯气体配气的基础组分，也用于催化剂活性测试的反应气；

4. 能源/燃料电池：作为燃料电池的高纯燃料（甲烷燃料电池），航空航天、特种装备的高效燃料，适配高端动力系统的纯度要求；

5. 工业/其他应用：用于制备超纯氢气（甲烷裂解制氢），高端真空镀膜的工艺气体，精密仪器的检漏气（少量配套），也用于环境监测标准气的配制。