Parylene派瑞林真空镀膜机

Parylene 派瑞林涂层技术：

Parylene 是一种高性能的聚合物涂层材料，学名是聚对二甲苯，通过一种特别的化学气相沉积（CVD）工艺涂覆在物体表面。这个过程在室温、真空环境下进行，生成的薄膜具有高度的保形性（能均匀覆盖复杂形状、锐边、缝隙和针孔）、无针孔、透明、生物相容性好、化学惰性强、优秀的电绝缘性和阻隔性能（防潮、防腐蚀气体、防盐雾等）。

Parylene派瑞林真空镀膜设备广泛应用于多个行业，包括航天航空、半导体、新能源、军工、汽车、手机、新型显示、电子元器件、光通讯、轨道交通、3C数码及电子等领域。通过Parylene涂敷后的产品具有高度的绝缘强度、耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防水、防潮、防锈、透明、抗老化、生物相容性等作用。

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空镀膜系统具有以下优势：
          1、在真空腔体中集成等离子源
          2、兼容超净间的系统设计
          3、经过验证且具有完整可塑性的生产流程
          4、可以提供从定制化的涂覆系统和量身定制的工艺开发，到全面的耗材、备件供应以及长期的技术支持服务

我们提供的Parylene派瑞林真空镀膜设备既有适用于科研领域的实验型机型，也有适用于工业量产领域的工业机型。同时，我们也可以根据需求在真空腔体中集成等离子源，实现在沉积之前能够对基材进行表面化处理，从而提高薄膜的粘附性。另外，我们也可以提供适用于超净间使用的系统设计，在小占地面积下提供高性能技术，节约大量的超净间占地空间。

相关型号：

PPS 提供多样化的定制化实验室涂布设备，配备多种可选装置与附加组件，旨在确保涂层工艺的成功实施、表面洁净度以及涂层的均匀性和平滑性。我们的绝大多数系统均具备以下功能配置：

- 可定制腔体尺寸
- 支持选配等离子体源
- 配备冷却系统及集成泵系统

Parylene System 3000 LV300 是一款模块化设计的系统，主要由两部分组成：腔室模块与蒸发器模块。我们众多设备均采用此类模块化设计，旨在确保系统的灵活性，从而能够根据客户需求对几乎任何组件进行定制化调整。其中，“3000”代表产品系列，而“LV300”则用于标识机器腔室的尺寸规格。该尺寸设计主要取决于您单次运行中需要涂覆的基板尺寸及数量要求。  我们所提供的腔室最大容积可达 1000 升。此外，该系统标配等离子源，并可选配旋转工作台、加热/冷却台以及多达 3 个质量流量控制器，以满足不同气体入口的需求。

一体化泵架能够显著减少颗粒物排放，从而为洁净室在最严苛的环境下提供更为清洁和紧凑的整体解决方案。  该系统已被全球众多洁净室设施及高等院校广泛采用，且其应用范围与使用数量仍在持续增长。