派瑞林真空镀膜机

派瑞林真空镀膜机为专用派瑞林镀膜设备，采用真空高温气相沉积工艺，将固态派瑞林原料经蒸发、高温裂解为活性单体，在工件表面聚合形成均匀致密的高分子防护薄膜。设备具备保型涂敷特性，可完全贴合各类复杂形貌工件，镀膜无死角、厚度均匀，广泛应用于电子、医疗、MEMS、集成电路、精密器件防护等领域。

设备支持Parylene N、Parylene C、Parylene D三种主流派瑞林材料镀膜加工（平台提供C型蒸发料，N型和D型需自行提供），可实现器件防潮、防水、耐腐蚀、绝缘、防盐雾、生物相容防护等功能，适配不同场景的工艺需求。 常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(CVD)，反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应，在固态基体表面直接生成固态物质，进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连甲基碳碳键断裂，生成具有活性的对二亚甲基苯单体，当其从高温环境进入室温环境的沉积室时，不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步：单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。

1、 在SMD方面：派瑞林是先进组装方式最好的防护材料之一，并且对于潮湿和其他腐蚀性气体具有低渗透性，它能在元器件内部、底部和周围形成无气隙的优质防护层。

2、电子线路：复杂表面贴装及混合电子线路用Parylene沉积后能保护其不受水及化学药品侵蚀并提供良好的介电性能和防性能。

3、对金属表面采用Parylene派瑞林涂敷可封住金属的显微疏松，并能形成一个光滑无孔的表面。从而减少附着污物的可能性，提高金属的防护能力。

4、在微电子、铁氧化体、线圈、医用器械及文物保护方面都有广泛的应用。

5、 保护特性优异。派瑞林真空镀膜机涂膜均匀、致密、无气孔、对气体二氧化碳、氧气的渗透性低，对二氧化碳、水蒸气的隔离特性超过所有其他聚合材料。