四氟甲烷

中文名称：

四氟甲烷

英文名称：

Tetrafluoromethane

CAS号：

75-73-0

品牌：

上氟科技

产地：

上海

保存条件：

室温密闭保存

纯度规格：

99%

产品类别：

含氟气体

是否进口：

否

用途：

广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻等