五(二甲氨基)钽-电子级ALD/CVD前驱体源
PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM
19824-59-0
19824-59-0
询价
25g
起订
50g
起订
100g
起订
江苏 更新日期:2024-08-14
产品详情:
- 中文名称:
- 五(二甲氨基)钽
- 英文名称:
- PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM
- CAS号:
- 19824-59-0
- 品牌:
- 龙扬生化
- 产地:
- 江苏
- 保存条件:
- 常温
- 纯度规格:
- 99.9999%
- 产品类别:
- ALD/CVD电子级前驱体源
- 别名:
- PDMAT
- 分子式:
- C10H30N5Ta
对于栅介质层,由于其厚度一般在10nm以下,ALD技术成为制备栅介质层的首选,已经用于Intel 45nm节点的MOS管的制备过程中。相较于CVD、PVD,ALD可以原子级厚度水平控制膜层的沉积,存储介质可通过ALD或CVD技术制成,而ALD具有优越的阶梯覆盖能力,在高深宽比的DRAM中其应用将不断增加。
本公司提供和开发CVD/ALD所需的前驱体源,包括可用于沉积高k栅介质层HfO₂、用于存储介质层的ZrO₂、TiO₂、Ta₂O₅等材料的前驱体。以下为本公司在售的部分前驱体材料:
介质层 | 前驱体 | 名称 | 缩写 |
HfO₂ | Hf[N(CH₃(C₂H₅)]₄ | 四(甲乙氨基)铪 | TEMAH |
Hf[N(C₂H₅)₂]₄ | 四(二乙氨基)铪 | TDEAH | |
Hf[N(CH₃)₂]₄ | 四(二甲氨基)铪 | TDMAH | |
HfCl₄ | 四氯化铪 | - | |
ZrO₂ | Zr[N(CH₃)₂]₄ | 四(二甲氨基)锆 | TDMAZ |
Zr[N(C₂H₅)₂]₄ | 四(二乙氨基)锆 | TDEAZ | |
Hf[N(CH₃)(C₂H₅)]₄ | 四(甲乙氨基)锆 | TEMAZ | |
TiO₂ | TiCl₄ | 四氯化钛 | - |
Ti[N(CH₃)₂]₄ | 四(二甲氨基)钛 | TDMAT | |
Ta₂O₅ | Ta[N(CH₃)₂]₅ | 五(二甲氨基)钽 | PDMAT |
五(二甲氨基)钽;19824-59-0;PDMAT;ALD/CVD前驱体源;PENTAKIS(DIMETHYLAMI;
公司简介
苏州龙扬生化科技有限公司成立于 2020年 5 月,坐落于江苏省张家港锦丰镇,是目前国内专业从事 ALD/CVD 材料研发、生产、销售于一体的高科技企业。公司由高纯电子化学品领域的资深专家所创建,具有丰富的前驱体研发和生产管理经验。公司主要经营原子层淀积(ALD)及化学气相淀积(CVD)前驱体源材料、前驱体包装容器等,为国内外用户提供高纯度多种类的 ALD/CVD 源材料,以及优质的源瓶配套服务。
目前,相关产品已在国内科研院所和企业单位批量使用,产品质量达到国际先进水平。同时与国内外ALD/CVD设备公司以及知名大学与研究所建立了长期的合作关系,时刻跟踪行业发展动态,为中国集成电路相关行业发展夯实基础。
成立日期 | (4年) |
注册资本 | 500万 |
员工人数 | 1-10人 |
年营业额 | ¥ 1000万-5000万 |
经营模式 | 贸易,工厂,试剂,定制,服务 |
主营行业 | 纳米材料,有机光电,微纳米电子技术,合成材料 |
五(二甲氨基)钽相关厂家报价 更多
-
- 19824-59-0;五(二甲氨基)钽(V)
- 宝鸡福诺康实业有限公司 VIP
- 2025-02-21
- 询价
-
- 五(二甲基氨基)钽(V);
- 湖北诺迪纳生物技术有限公司 VIP
- 2025-02-08
- 询价
-
- 五(二甲氨基)钽(V)
- 陕西缔都医药化工有限公司 VIP
- 2024-12-18
- 询价
-
- aladdin 阿拉丁 P283060 五(二甲氨基)钽(V) 19824-59-0 99.99% metal basis
- 上海阿拉丁生化科技股份有限公司 VIP
- 2024-11-29
- ¥1149.90
内容声明
以上所展示的信息由商家自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布商家负责。
商家发布价格指该商品的参考价格,并非原价,该价格可能随着市场变化,或是由于您购买数量不同或所选规格不同而发生变化。最终成交价格,请咨询商家,以实际成交价格为准。请意识到互联网交易中的风险是客观存在的