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五(二甲氨基)钽-电子级ALD/CVD前驱体源

PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM
19824-59-0
询价 25g 起订
50g 起订
100g 起订
江苏 更新日期：2024-08-14

苏州龙扬生化科技有限公司

非会员
联系人：龚云龙
手机：18136988733 拨打
邮箱：sales@ly-biochem.com

产品详情:

中文名称：
五(二甲氨基)钽
英文名称：
PENTAKIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM
CAS号：
19824-59-0
品牌：
龙扬生化
产地：
江苏
保存条件：
常温
纯度规格：
99.9999%
产品类别：
ALD/CVD电子级前驱体源
别名：
PDMAT
分子式：
C10H30N5Ta

 对于栅介质层，由于其厚度一般在10nm以下，ALD技术成为制备栅介质层的首选，已经用于Intel 45nm节点的MOS管的制备过程中。相较于CVD、PVD，ALD可以原子级厚度水平控制膜层的沉积，存储介质可通过ALD或CVD技术制成，而ALD具有优越的阶梯覆盖能力，在高深宽比的DRAM中其应用将不断增加。

      本公司提供和开发CVD/ALD所需的前驱体源，包括可用于沉积高k栅介质层HfO₂、用于存储介质层的ZrO₂、TiO₂、Ta₂O₅等材料的前驱体。以下为本公司在售的部分前驱体材料：





介质层前驱体名称缩写
HfO₂Hf[N(CH₃(C₂H₅)]₄四（甲乙氨基）铪TEMAH
Hf[N(C₂H₅)₂]₄四（二乙氨基）铪TDEAH
Hf[N(CH₃)₂]₄四（二甲氨基）铪TDMAH
HfCl₄四氯化铪-
ZrO₂Zr[N(CH₃)₂]₄四（二甲氨基）锆TDMAZ
Zr[N(C₂H₅)₂]₄四（二乙氨基）锆TDEAZ
Hf[N(CH₃)(C₂H₅)]₄四（甲乙氨基）锆TEMAZ
TiO₂TiCl₄四氯化钛-
Ti[N(CH₃)₂]₄四（二甲氨基）钛TDMAT
Ta₂O₅Ta[N(CH₃)₂]₅五（二甲氨基）钽PDMAT





五(二甲氨基)钽;19824-59-0;PDMAT;ALD/CVD前驱体源;PENTAKIS(DIMETHYLAMI;

公司简介

苏州龙扬生化科技有限公司成立于 2020年 5 月，坐落于江苏省张家港锦丰镇，是目前国内专业从事 ALD/CVD 材料研发、生产、销售于一体的高科技企业。公司由高纯电子化学品领域的资深专家所创建，具有丰富的前驱体研发和生产管理经验。公司主要经营原子层淀积（ALD）及化学气相淀积（CVD）前驱体源材料、前驱体包装容器等，为国内外用户提供高纯度多种类的 ALD/CVD 源材料，以及优质的源瓶配套服务。 目前，相关产品已在国内科研院所和企业单位批量使用，产品质量达到国际先进水平。同时与国内外ALD/CVD设备公司以及知名大学与研究所建立了长期的合作关系，时刻跟踪行业发展动态，为中国集成电路相关行业发展夯实基础。

成立日期 (4年)
注册资本 500万
员工人数 1-10人
年营业额 ￥ 1000万-5000万
经营模式 贸易,工厂,试剂,定制,服务
主营行业 纳米材料,有机光电,微纳米电子技术,合成材料

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