五(二甲氨基)钽(V)

五（二甲氨基）钽，简称PDMAT，化学式为C10H30N5Ta，是一种金属有机化合物。外观呈橙色晶体，对水分敏感，遇水会迅速反应，分子结构由钽原子和五个二甲氨基配体组成，具备热稳定性好、蒸气压低等特点，作为前驱体材料，在原子层沉积（ALD）工艺以及化学气相沉积（CVD）工艺中应用较多。 五(二甲氨基)钽(PDMAT)可作为TaN的前驱体，具有优良的导电性能，可用于半导体器件的电极部分的制造；在半导体后段工艺中作为扩散阻挡层使用；也可用于光伏电池正极的金属化；在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用。
五(二甲氨基)钽可用于制备Ta2O5，其具有较高的介电常数，作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃、航空领域的高温特种陶瓷的关键材料。
五(二甲氨基)钽可选择性催化合成更高立体选择性的手性药物；在酶催化反应中提供额外的氧源，提高反应效率和稳定性；作为新型载体材料，可调节催化剂的理化性质，实现药物的传递和释放。 以五氯化钽与二甲胺为主要原材料，加入正丁基锂，经过充分反应、过滤、干燥等流程制得成品。