头孢呋辛酸

头孢呋辛酸 中文名称: 四氟化钛 中文同义词: 头孢呋辛酸;四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛(IV),98%;头孢呋辛酸(中间体);四氟化钛,99% 英文名称: Titanium tetrafluoride CAS号: 7783-63-3 分子式: F4Ti 分子量: 123.86 EINECS号: 232-017-6 熔点 >400°C 沸点 284°C 密度 2.798 g/mL at 25 °C(lit.) 敏感性 Moisture Sensitive Merck 14,9479 化学性质 四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。 用途 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。