四氟化钛 氟化钛(IV) 微电子工业刻蚀剂

中文名称：

四氟化钛

英文名称：

Titanium tetrafluoride

CAS号：

7783-63-3

品牌：

远达

产地：

国产

保存条件：

贮存于阴凉、通风、干燥处

纯度规格：

99%

产品类别：

精细化工原料

级别：

工业级

货号：

YD20240403003

别名：

氟化钛(IV)

分子式：

F4Ti

用途：

在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钛，以制取低电阻、高熔点的互连线

规格：

1KG/瓶

外观：

白色粉末