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NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统

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上海 更新日期:2024-07-11

那诺-马斯特中国有限公司

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手机:17317363700 拨打
邮箱:moses.zhang@nano-china.com

产品详情:

中文名称:
NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统
产品类别:
生长系统 MOCVD设备

NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统概述:NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)、PC全自动控制,完全的安全互锁。

目前,这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。


NMC-4000(A)全自动PAMOCVD系统应用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)


特点:

  • 独立系统

  • 14”不锈钢立方体腔体

  • 1次在8”样品台上处理16”晶圆片或在12”样品台上处理54”片子

  • 加热的气体管路

  • RF等离子源,自动调谐

  • 淋浴头气体分布

  • 1100°C的旋转样品台

  • N2冲洗

  • 全自动上下载片

  • 可以兼容到集群配置中



进口全自动PAMOCVD;全自动等离子MOCVD;进口PAMOCVD;等离子辅助MOCVD;等离子MOCVD;等离子体增强MOCVD;

公司简介

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室,提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备,正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商,已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务

成立日期 (10年)
注册资本 100万人民币
员工人数 1-10人
年营业额 ¥ 1000万-5000万
经营模式 定制
主营行业 其他仪器耗材

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