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NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统

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上海 更新日期:2024-08-15

那诺-马斯特中国有限公司

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邮箱:moses.zhang@nano-china.com

产品详情:

中文名称:
NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统
产品类别:
沉积系统 E-Beam电子束蒸发系统

NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统概述:NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,其中样品台位于主腔体内,二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁,使得电子束源腔体保持真空的情况下,实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时,他可以通过第三方的预真空锁来实现,这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程的能力。


NEE-4000(A)全自动电子束蒸发系统特点:

·         顺序蒸发或共蒸发

·         双电子束源

·         多凹槽电子枪

·         可编程电子束扫描

·         10KW开关电源

·         涡轮分子泵,极限真空5x10-7Torr

·         自动上下载片

·         材料和衬垫更换非常方便

·         晶振式膜厚监测仪

·         通过LabView软件实现PC计算机控制

·         菜单驱动,四级访问密码保护

·         完全的安全联锁


产品型号:

·         NEE-3500:计算机全自动控制的紧凑型独立系统

·         NEE-4000:计算机全自动控制的独立系统

 


E-Baeam系统;进口电子束蒸发镀膜;电子束蒸发镀膜仪;电子束蒸发镀膜设备;全自动E-Baeam系统;

公司简介

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室,提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备,正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商,已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务

成立日期 (10年)
注册资本 100万人民币
员工人数 1-10人
年营业额 ¥ 1000万-5000万
经营模式 定制
主营行业 其他仪器耗材

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