四氟化碳

carbon tetrafluoride
75-73-0

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安徽更新日期：2024-11-12

安徽旺山旺水特种气体有限公司

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产品详情:

中文名称：: 四氟化碳

英文名称：: carbon tetrafluoride

CAS号：: 75-73-0

纯度规格：: 99.999%

产品类别：: DWS电子气体

产品详情

产品分类：四氟化碳

产品分类：四氟化碳
纯度：99.999%（5N）
包装：钢质无缝气瓶
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式：CF4

充装标准

序号	名称	化学式	纯度(%)	压力(Mpa)	充装量(m3/kg)	阀门\|螺纹出口	钢瓶容积(L)	钢瓶尺寸(cm)	钢瓶皮重(kg)
1	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	28公斤	PX-32\|G5/8	40	29×145	50
2	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	30公斤	CGA580	44	29×145	53
3	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	5公斤	PX-32\|G5/8	8	22×70	10

产品用途

四氟化碳是目前微电子工业中用量的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1.可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
2.在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3.由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
4.四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。

合成方法

1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。

2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。

3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。

储存注意事项

1. 气瓶使用和检验遵照国家质量技术监督局《气瓶安全监察规程》的规定。

2. 气瓶不得靠近火源，不得受日光曝晒，与明火距离一般应该不小于10米，气瓶不得撞击。

3. 气瓶的瓶子严禁沾染油脂。

4. 气瓶内的气体不能全部用尽，应该留不小于0.04MPa剩余压力。

四氟化碳;99.999%四氟化碳;

公司简介

安徽旺山旺水特种气体有限公司 - DWS SPECIALTY GAS CO., LTD（以下简称DWS）一直致力于液氦、稀有气体、重水、同位素产品的开发和应用，提供核磁共振相关服务，同时提供相关气体设备及工程管道安装等服务。公司由气体行业的资深技术人员创建，引进美国先进的气体生产技术、分析设备以及质量管理理念。目前，公司生产工艺和产品质量均达到国内先进水平，与国际、国内著名气体企业多有深度合作。可以从美国、俄罗斯、北欧、韩国、台湾、中东等国家地区直接进口高品质产品。主营服务 ?液氦，氦气，重水，同位素产品，稀有气体、特种气体、高纯气体和标准混合气体。 ?特气体主要由进口和厂家代理直销为主，产销的特气种类齐全，具有很强的竞争力。至今为止，本公司经营的气体产品有八个系列共30多个品种。主营服务分类 ?液氦及氦气 ?重水 ?同位素产品：氦-3，氘气等同位素气体 ?稀有气体：高纯氖气、氙气、氪气 ?特种气体：六氟化硫、甲烷、硫化氢、二氧化硫、一氧化碳、四氟化碳、六氟乙烷、三氟化硼、三氯甲烷、四氟化硅、一氧化二氮、八氟环丁烷、三氟化氮、环氧乙烷 ?工业气体：液氧、液氮、液氩、二氧化碳、氢气等 ?气体包装物：气瓶、减压阀及其它容器 ?MRI液氦加注及相关服务 “无形产品、有道经营”，是DWS面对市场竞争的行为准则；“诚信、勤勉、进取、合作” 是DW

成立日期	(4年)
注册资本	1000万元
员工人数	1-10人
年营业额	￥ 1000万-5000万
经营模式	贸易,工厂,试剂,定制,服务
主营行业	单质元素,工业气体