三氯氧磷

POCl3
10025-87-3

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广东更新日期：2021-12-10

深圳市旺达康科技有限公司

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产品详情:

中文名称：: 三氯氧磷

英文名称：: POCl3

CAS号：: 10025-87-3

保存条件：: 25

纯度规格：: 7N

产品类别：: 电子级化学品

纯度：: 超高纯

电子级三氯氧磷

一、分子式：POCl3

二、分子量：153.35

三、理化性质:

无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。

四、用途:

主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料

Dielectrics PMD/IMD	TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics	4MS ,OMCATS
High K Dielectrics	TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal	TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide	HCDS
Diffusion	POCl3

供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。

三氯氧磷;电子级三氯氧磷;半导体用三氯氧磷;掺杂用三氯氧磷;POCl3;

公司简介

深圳市旺达康科技有限公司成立于2003年12月，以先进的新材料为主导产业，在“电子级化学品”“溅射靶材”“真空镀膜材料”“高纯材料”“稀土材料等多个产业领域，依靠领先的综合技术，多年来为研制我国半导体、航空、航天、信息、电力、电子、冶金、化工、石化、建筑、交通、生物医药、新能源和环保等产业领域的关键材料做出了重要贡献。通过多年的发展，深圳市旺达康科技有限公司为全国各大专院校，科研院所，企业单位提供了各种新材料及制品。产品范围包括金属，合金，化合物及各种复杂合成新材料，纯度从低至高（99.99999%）。我们的产品品质控制非常严格,从原材料采购,生产制作,包装检验,每一步都严格控制,确保品质。我们热切希望通过我们的努力能更快更好地推动贵单位的发展。我们的产品及业务包括：电子级化学品，金属，合金，化合物及各种复杂合成新材料，纯度从低至高（99.99999%）。尤其在磁控溅射靶材,真空镀膜料,高纯金属,高纯化合物,稀土金属,蒸馏稀土金属,晶体材料,镀膜基片,纳米粉末,高纯试剂等，电子级化学品：电子级三氯氧磷，电子级三溴化硼，电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE），电子级正硅酸四乙酯/ TEOS，高纯电子级无水三氯化铝，高纯电子级红磷，电子级三甲基铝(TMA)，电子级磷酸三甲酯 (TMPO)，电子级亚磷酸三甲酯 (TMPI)，电子级硼酸三甲酯 (