电子级正硅酸四乙酯TEOS

tetraethyl orthosilicate
10025-87-3

￥28000 5加仑起订

广东更新日期：2021-11-05

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产品详情:

中文名称：: 电子级正硅酸四乙酯TEOS

英文名称：: tetraethyl orthosilicate

CAS号：: 10025-87-3

保存条件：: 25摄氏度储存

纯度规格：: 99.999999%

产品类别：: 电子级化学品

包装容量：: 19L

纯度：: 8N

电子级正硅酸四乙酯/ TEOS

名称	正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式	C8H20O4Si
相对分子量	208.33
CAS号	78-10-4
理化性质	无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。

典型应用

CVD类型	材料
APCVD	TEOS,O3
LPCVD	TEOS
PECVD	TEOS,O2

供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。

电子级正硅酸四乙酯;正硅酸四乙酯;高纯正硅酸四乙酯;半导体用正硅酸四乙酯;电子级TEOS;

公司简介

深圳市旺达康科技有限公司成立于2003年12月，以先进的新材料为主导产业，在“电子级化学品”“溅射靶材”“真空镀膜材料”“高纯材料”“稀土材料等多个产业领域，依靠领先的综合技术，多年来为研制我国半导体、航空、航天、信息、电力、电子、冶金、化工、石化、建筑、交通、生物医药、新能源和环保等产业领域的关键材料做出了重要贡献。通过多年的发展，深圳市旺达康科技有限公司为全国各大专院校，科研院所，企业单位提供了各种新材料及制品。产品范围包括金属，合金，化合物及各种复杂合成新材料，纯度从低至高（99.99999%）。我们的产品品质控制非常严格,从原材料采购,生产制作,包装检验,每一步都严格控制,确保品质。我们热切希望通过我们的努力能更快更好地推动贵单位的发展。我们的产品及业务包括：电子级化学品，金属，合金，化合物及各种复杂合成新材料，纯度从低至高（99.99999%）。尤其在磁控溅射靶材,真空镀膜料,高纯金属,高纯化合物,稀土金属,蒸馏稀土金属,晶体材料,镀膜基片,纳米粉末,高纯试剂等，电子级化学品：电子级三氯氧磷，电子级三溴化硼，电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE），电子级正硅酸四乙酯/ TEOS，高纯电子级无水三氯化铝，高纯电子级红磷，电子级三甲基铝(TMA)，电子级磷酸三甲酯 (TMPO)，电子级亚磷酸三甲酯 (TMPI)，电子级硼酸三甲酯 (