四甲基氢氧化铵

发布人：山东满堂红新材料有限公司

发布日期:2026/2/7 16:16:35

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四甲基氢氧化铵（Tetramethylammonium hydroxide，TMAH），CAS 号 75-59-2（无水纯品），水合物为主要商用形态（五水合物 CAS 号 10424-65-4），分子式

（n=0/5，工业常用 n=5），分子量 91.15（无水）/181.23（五水），是最简单的四烷基季铵碱，为离子型含氮有机强碱，由四甲基铵阳离子与羟基阴离子通过离子键结合而成。其水溶液呈强碱性，化学性质活泼且纯度可精准调控，是电子半导体、有机合成、材料制备领域的专用精细化学品，电子级为核心应用品类，属腐蚀性危险品，需严格管控储运与操作。

一、基础化学与理化特性

核心结构：氮原子与四个甲基形成饱和季铵阳离子，与羟基阴离子配对，无游离氨基，为典型季铵碱结构；无水纯品为离子晶体，水合物因氢键更稳定，工业上极少使用无水纯品，多以25%/10% 水溶液或五水结晶形态销售，兼具强碱性、催化性和相转移特性。
关键理化性质

外观形态：无水纯品为白色吸湿性结晶，易潮解、常温下易分解；五水合物为白色结晶粉末，25% 水溶液为无色透明粘稠液体，无明显异味；
溶解性：极易溶于水、甲醇、乙醇等极性溶剂，不溶于乙醚、苯、甲苯等非极性有机溶剂，水溶液完全解离，碱性与 NaOH、KOH 等无机强碱相当（25% 水溶液 pH≈14）；
物理常数：无水品熔点 230℃（分解），五水合物熔点 62~65℃，25% 水溶液密度 1.09 g/cm³（25℃），闪点无明确值（水溶液），受热易分解（＞130℃分解为三甲胺和甲醇，释放有毒碱性气体）；
反应性：具强碱性和强催化性，可作为有机合成的缩合、重排、烷基化催化剂；与酸快速中和生成四甲基铵盐，与二氧化碳反应生成碳酸盐；对金属有轻微腐蚀性，与铝、锌等活泼金属反应生成氢气。

二、主要应用领域

四甲基氢氧化铵的应用高度专一，电子半导体领域为核心（占比超 70%），其余为有机合成和材料制备，不同规格精准适配不同场景，核心依托其高纯度、强碱性、低残留特性，具体应用：

电子半导体工业：核心专用化学品（最主要应用）
电子级 TMAH 是半导体光刻工艺的显影剂，也是晶圆、面板的清洗剂 / 刻蚀剂，为芯片制造的关键配套材料：

光刻显影：作为正性光刻胶的显影剂，利用强碱性使曝光区域的光刻胶发生水解溶解，形成精细电路图案，适配硅片、晶圆、集成电路制造；
清洗 / 刻蚀：用于去除晶圆表面的光刻胶残留、金属氧化物杂质，以及液晶面板的玻璃基板刻蚀，低金属杂质特性避免污染电子器件，刻蚀精度高。

有机合成工业：强碱催化剂 / 相转移催化剂
工业级 TMAH 作为有机强碱非均相催化剂，用于缩合、重排、霍夫曼降解、烷基化反应，如合成医药中间体、精细有机化合物；同时作为相转移催化剂，提升非水相反应的速率和收率，与无机强碱相比，无无机盐残留，便于产物分离提纯。
材料制备工业：固化剂 / 改性剂

用作硅橡胶、有机硅树脂的高效固化剂，尤其是室温硫化硅橡胶，固化速度快、产物透明度高、无腐蚀性，广泛用于密封胶、胶粘剂、电子灌封胶；
作为环氧树脂、酚醛树脂的改性剂，提升树脂的柔韧性和粘接强度，适配高端涂料、电子封装材料。

分析化学：专用试剂
作为非水滴定的碱性基准试剂，用于有机酸、弱酸的滴定分析，滴定终点敏锐；也用作离子色谱的淋洗剂、毛细管电泳的缓冲液，适配精密分析检测。