八氟丙烷是什么_电子级和工业级区别_八氟丙烷供应商_等离子蚀刻气体

八氟丙烷也就是我们常说的全氟丙烷，是丙烷内的氢原子全部被氟原子取代，变成了一种非常优秀的特种气体，常温常压下是一种无色无味同时也不燃的液体，而且也很容易液化，稍微有点压力就变成液态。

而一般说到八氟丙烷最常用的场景那就是半导体领域，在等离子体内部做刻蚀气体，因为碳氟比很高的原因，能够很容易的在侧壁形成聚合物保护层，做出接近垂直的深孔轮廓，这也是它在诸如3D NAND深孔、DRAM电容孔、先进逻辑14nm以下图形最合适的原因之一。

八氟丙烷在市场里比较常见的就是3N-4N的工业级还有5N的电子级，而工业级与电子级要求最大的部分就是杂质，水分方面电子级要求1ppm以下，氧和氮也要控制在1ppm还有5ppm以下，如果过高对于产品的良率是有很大影响的，

里面其他氟碳化合物的杂质也很关键，他们对于侧壁聚合物的厚度和刻蚀选择比的影响很大，电子级要求几个ppm甚至更低，高了容易出问题。电子级与工业级最大的区别在于金属杂质方面，工业级一般对金属杂质是没有过多要求的，但是电子级的八氟丙烷单个杂质要低至1ppb以下，颗粒物同样如此。

而包装上，对于工业级的产品来说，一般的八氟丙烷瓶子完全没问题，因为没有太大影响，但是对于电子级八氟丙烷来说，瓶子是对于气体杂质含量影响非常大的一环，如果不做研磨或者抛光等处理，水分很容易超标，而且阀门也要用高洁净的隔膜阀，减压阀也要用不锈钢的。

用途上，电子级八氟丙烷的使用场景是比较针对性的，而工业级的八氟丙烷就没那么多要求了，成熟制程、腔体预清洗、设备调试、检漏试验用工业级的就够了，实验室做刻蚀参数摸索、气相色谱标定一般也是4N的八氟丙烷就够用了。

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特殊同位素：二氟化氙，氦3，硅28、氙124、氙129、镍64等；

特种气体：氦气、五氟化锑、丙二烯、丙炔、环丙烷、三氟化磷、六氟化钨、氪气，氙气，三氟甲磺酸酐、六氟化硫、环氧乙烷、五氟化碘、六氟丙烷、八氟丙烷、氯乙烯、乙炔等，核磁共振添加液氦，同位素混合气混配；

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