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吉和昌炔二醇润湿剂 TL-J40A 在光刻胶领域的应用探析

发布人:武汉吉和昌新材料股份有限公司

发布日期:2026/8/14 8:37:53

半导体光刻胶旋涂工艺中,微气泡残留、硅片基材润湿不足、膜层缩孔针孔、涂覆厚薄不均等缺陷,直接影响图形转移精度与晶圆良率,是光刻胶配方研发亟待攻克的技术难点。吉和昌生产销售的癸炔二醇润湿剂TL-J40A(2,4,7,9 - 四甲基 - 5 - 癸炔 - 4,7 - 二醇环氧乙烷加成物,CAS:9014-85-1) 为为双子型炔二醇聚醚,亲水亲油平衡适中,集润湿、抑泡、分散多重效能于一体,适配溶剂型、中低含水光刻胶体系,可有效解决传统助剂润湿与消泡难以兼顾的行业难题。

TL-J40A(800).jpg

TL-J40A 可快速降低光刻胶体系动态与静态表面张力,在搅拌配胶、高速旋涂过程中抑制微泡生成,减少气泡瑕疵;强效浸润硅片低能基材,改善胶液铺展能力,有效规避鱼眼、针孔、缩孔不良,让光刻胶成膜更加均匀平整,保障显影线条轮廓清晰完整,提升图案转移保真度。产品不含 APEO,与光刻胶树脂、光引发剂相容性优异,不会干扰感光体系光化学反应,无硅污染风险,适配各类正胶、负胶配方开发。

在国产光刻胶国产化进程中,TL-J40A 兼顾工艺稳定性与配方兼容性,可优化旋涂、显影全流程表现,降低制程缺陷率,提升产品良率。作为高性能炔二醇功能助剂,TL-J40A 可为半导体光刻胶配方迭代提供可靠助剂解决方案,赋能微电子材料产业高质量发展。


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